一、设备名称： 原子力显微镜 数量：1套.doc

一、设备名称：?原子力显微镜 数量：1套 二、功能及用途： 用于分析包括绝缘体在内的固体材料的三维表面图像；用于在大气和液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的物理性质探测，或者直接进行纳米操纵；用于在线研究材料的沉积与腐蚀过程。 三、设备明细（*号指标必须满足，否则为废标。） 序号 设备及主要配件名称 技术指标 数量 备注 1 SPM02ED （基座） 扫描方式：样品扫描 样品定位：5mm×5mm(手动) 扫描范围：100um×100um×10（闭环控制） 样品重量：最大40g 样品尺寸：最大直径25mm,最大厚度10mm 1 2 SF02ED （AFM头部） 包含以下功能： 接触式AFM 轻敲式(半接触）AFM 相位成像 横向力（摩擦力）显微镜 力调制模式 力刻蚀 1 3 WT_ED （标准工具包） 包含仪器操作的必要备件 1 4 BL02ED （控制箱） SPM控制箱包含： AFM控制主板（DSP控制） 高压控制板（X, Y , Z ± 150 V） 自我诊断控制板 电源电压：90 ~240 V, 50 Hz/60 Hz. 电源功率：210 W. 1 5 MSSET_ED （20根AFM探针） 10根接触式AFM探针 10根轻敲式（半接触）AFM探针 1 6 SWD22 （软件） 包含AFM数据采集及分析功能 1 7 TGS1 （校准光栅） 20nm高一维光栅 100nm高一维光栅 500nm高一维光栅 1