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差动电容传感器在测量电路中的应用 【摘要】 差动电容传感器越来越广泛地应用于诸如压力、加速度、直线位移、转角等物理量的测量，其电路结构依测量要求不同而不同．但其基本原理都是和用比斜信号处理法以传感器电容容量的变化来反映被测量的变化．电容变化可以是线性或非线性的。利用比例信号处理法可以实现棱测量的精确．线性检测。所谓比例信号处理法即用传感器中两电容之差与两电容之和的比值来线性地反映棱测量。因此需要专门的信号处理电路将传感器电容变化转换为易于检测的电量，已经出率的技术方法有开关一电容(s／c)法，模数转换(A／D)法、电容、频转换法、电容相位转换法等，其中适用于CMOS集成电路的SIC 法由于时钟馈线的影响精度较低，C／F法可以达到很高的精度，但由于需要微 处理器来进行比斜运锋而难以满足时实时、快速的要求。近年来，人 们在提高精度和速度方面不断探索，提出了各种提高精度和速度的方法 【关键字】 差动电容传感器 信号处理电路 【正文】 差动电容传感器可由图1来表示。电容Cx、C’x分别具有固定电极1、2和可动电极1’、2其介质均为弹性物质。设静态时两电容相等，其和为Co。当中间被测物体产生横向直线位移或受到横向加速度而产生位移时，电容Cx、Cx发生变化 。若中间物体位移导致电容器极板问的距离相对变化为X， 则Cx= (1+ x)Co／2 C’x一(1一x)Co／2因此：X=(cx—c’x)／(Cx+C’x)采用某种信号处理电路将差动电容比倒信号(Cx—C’x)／(Cx+c’x)转换匀可直接测量或显示的电量，使可实现对中间物体的直线位移或加速度等物理量的测量。 工作原理 1.数字输出型信号处理电路 以往的差动电容传感器信号转换技术都是基于测量电容中存储的电荷来进行的。近年来高速运放的出现使得利用高频探测信号来实现差动电容比例信号的高精度，高速度检测成为可能 图2即是一种借助高频探测信号vs的信号处理电路。 2电路结构及原理 该电路由电容／电压转换、检渡和A／D转换三部分组成。当开关s1合、s2断时 A点电压v 为V01=-(Cx+C’x)RtVs，而sl断、s2台时．A点电压V 为：V02 = -CxRfvs其中Vs、to分别为加于传感器的探测信号的电压有效值及角频率V01 V02经检波后分别进入A／D转换器的参考输入及信号输入端 经A／D转换后输出数字量b=V02/V01=CX／(Cx+ C’x) 而x= (Cx+ C’x)／(Cx+ C’X)= 2Cx／(Cx+ C’X)一1 因此，被测量x可由能够直接显示的数字量b表示： 3电路性能分析 该信号处理电路中产生误差的主要原因是寄生电容、CMOS开关S1、S2的导通电阻、运放的非理想性(输入电阻ri 及增益A 并非无穷大) 及检波电路的非线性。寄生电容的影响可以 通过台理布置元件及引线来减小；开关s1、s2应选择导通电阻小的器件；而运放的输入电阻ri及增益A 的影响可以通过适当选择其它电路参数来消除．RsCx l(其中Rs是探测信号源的内阻)时ri、A 的影响便可忽略不计。检波电路的影响包括滤波电路的时间常数和非线性两个方面，产生非线性的原因是运放失调电压Vos造成了检波二极管导通角改变，适当提高探测信号的幅度可降低由此产生的非线性误差；而滤波电路的时间常数．应满足 1／2fin(1一)其中f为Vs的频率 ￡为相对测量误差 由此所限制的A／D 转拯速率为fin(1一)1ne。要保证铡量精度和速度，可适当提高探测信号的频率，但会由此而提高对运放响应建度即增益带宽积 的要求．一般成保证f 100f。当探测信号频率为1MHz 允许剩量误差为O．L％时，电路的响应速度约为150sps(Sample per Second)．适当增加滤波阶数也可减少响应时间。 1电路结构及原理 图2电路中由于采用了检波及模数转换环节从而限制了电路的响应速度， 图3所示的振荡型信号处理电路可以在一定程度上解决这个问题 其主要部分是积分器A2、比较器A1 微分器A3和反相放大器A4完成差动电容比铡运算的辅助作用 由电路分析可知．A1、A2组成了一个张驰振荡器．A1输出v1 (t)为正负交替的方波，而V (t)为同频率的三角波。总输出电压V (t)亦是与V2 (t)周期相同的方波 如图4所示。其周期由R0 及(Cx+Cx )确定。设比较器A1的正、反向输出电压分别为+vref 和一vref 则V1(t)=V refSgn[V2(t)]而v1(t)=v1 (t)R7 ／(R7+ R5)+ v2(t)R5 ／(R7 + R 6)若A1-A4为理想运放，忽略Cx 可碍：v (t)= {[C1 R2 ／R4一C2R2 ／R3；]／[C1 R5 ／R6 +C2 R2／R1 ]}Vref sgn(v2(t)) 选择R1 ～R6