3.2 常用的传感器-电容式.pptVIP

测试技术基础 第三节 电容式传感器 华南农业大学工程学院 * 第二章 常用的传感器 采用电容器作为传感元件，将不同物理量的变化转换为电容量的变化。 被测信息 敏感元件 转换元件 辅助电源 信号调理电路 输出信息 电容元件 电容元件 实际上是一个 具有可变参数 的电容器 零漂小、结构简单、动态响应快、易实现非接触测量。 用于测量位移、压力、振动及液位等。 用两块平行金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时其电容C为： A δ ε § 1 工作原理 δ、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 变面积型 电容式传感器 变极距型 变介电常数 在交流电路中，电容量的变化改变容抗，从而使输出电流或电压发生变化。 § 2 变极距型 变极距型传感器常常是一块极板固定而使另一块极板移动，从而改变极距?以引起电容的变化。 + + + + + + 因此电容器传感器的灵敏度为： 灵敏度与极距的平方值成反比，极距越小时灵敏度越高。 但灵敏度随极距的变化会引起非线性误差. 为减小非线性误差，通常规定在较小的间隙变化范围内工作以便获得近似的线性关系。一般取极距变化范围为 减小δ可以提高灵敏度。但δ过小易导致电容器击穿（空气的击穿电压为3kV／mm）。可在极间加一层云母片（其击穿电压大于 103kV/mm）或塑料膜来改善电容器耐压性能。 为提高灵敏度和减小非线性，以及克服某些外界条件（如电源电压、环境温度等）变化对测量精度的影响，常采用差动式结构。 采用差动式电容传感器，灵敏度提高一倍，非线性误差相应减小。 变极距型差动电容传感器 极距变化型电容传感器的灵敏度高，可利用被测部件作为动极板实现非接触式测量，常用于压力以及小位移的测量。 设可动极板上移 ，则 增大， 减小。 所以差动式电容传感器的输出为： 非线性误差为： 灵敏度为： 可见，采用差动式电容传感器，不仅使灵敏度提高一倍，也使非线性误差大大减小。 变d型差动电容传感器 § 3 变面积型 A ) 角位移式电容传感器 此时，传感器的灵敏度S为： 由两半圆形极板构成，其覆盖面积对应的中心角为 当动板有一转角 时，由于覆盖面积变化，电容量改变。 可见该传感器测角位移使有良好的线性特性。 B ) 直线位移式电容传感器 当可动极板移动距离 时，覆盖面积发生变化，相应电容量发生变化 此时，传感器的灵敏度为： 设原电容值为： C ) 圆柱体线位移式电容传感器 随动板圆柱的位移，定板圆柱与动板圆柱之间的覆盖面积发生变化，从而电容量发生变化。 两个同轴圆筒电极组成的电容器，其电容值为： 当覆盖长度变化时， 通过A）B）C）的分析可得出结论：变面积式电容传感器的灵敏度为常数，即具有良好的线性，但灵敏度较变极距型低。大多数用来检测较大直线位移及角位移等参数。 § 4 变介电常数型 当电容式传感器中的电介质改变时，其介电常数变化，从而引起了电容量发生变化。 这类传感器常用做检测容器中片状材料的厚度、液面高度等，也可用来测量空气的湿度、温度等。 A ) 电容测厚仪 C0 C1 C 这种传感器的电容量等于两个电容 和 相串联 此时 为空气相对介电常数， 为待测体的介电常数，当厚度 已知时，此电容传感器可作为介电常数测量仪。 如果待测体的介电常数 不变时，可作测厚仪使用。 B ) 电容液面计 两个同轴圆筒电极组成的电容器，其电容值为： 这类传感器常常采用同轴圆筒电极组成的电容器作为测量装置。 设容器中介质是不导电液体（如果是导电液体，则电极需绝缘） 总的电容 相当于上方气体介质间的电容量 和液体介质间电容量 之和（相并联）。 可见，同轴圆筒电容传感器的电容量与液位成线性关系。 C1 C C2 电容式传感器的电容值一般十分微小，不便于直接显示、记录和传输。因此，必须借助于测量电路检测出这个微小的电容变量，并转换为电压、电流或频率信号。 （一）? 交流电桥 U i 交流 放大器 相敏 检波器 低通 滤波器 Z1 Z2 Z3 Z4 § 4 电容式传感器的测量电路 电容传感器阻抗 对于电容传感元件来说，有如下关系： （二）? 二极管环形检波电路 稳幅放大器 比例放大器 恒压恒流源 电流转换器 如果采用变面积型或变间隙型差动式电容传感器，均可得到线性输出。 （三）? 差动脉冲宽度调制电路 宽度受C1、C2调制的方波脉冲 由于C1、C2大小不同，导致差动电容的充电时间不同，使双稳态触发器输出端的方波脉冲宽度不同。 （四）? 运算法测量电路 当运放的输入阻抗很高，增益很大时，认为输入电流 ， 则 从原理上解决了使用单个变间隙型电容传感器输出特性的非线性。 该电路要求固定电容 必须稳定，信号源电压 必须采取稳压措施 1．温