热式质量流量计基本原理浅析.pdfVIP

Ij2lI圃 — 器。。。。．。 。 工 程 技 术 热式质量流量计基本原理浅析 张 旭 (天津市津安热电有限公司 天津 300000) 摘 要：热式质量流量计基本原理同热线风速计工作原理一样 ，即：基于加热传感元件的对流传热。热式质量流量计根据加热元件 的不 同，分为热线式和热膜式。由于热线与热膜流速计在原理上没有根本差别，只是加热元件不 同而已。下面我们将 以热线为代 表进行 工作原理分析 。 关键词：热式质量流量计 原理 浅析 中图分类号：TH81 文献标识码 ：A 文章编号 ：1672-3791(2011)ll(a)一0042--01 1 物理基础——热传递 5．7％，但不 易氧化 。作为两种材料相结合 3 热式质量流量计的工作模式 强迫对流造成 的热耗散 ，我们称之为 的镀铂钨丝 ，兼具抗拉程度高 ，抗氧化程 目前 ，在工业 中使用 的热式质量流量 热损耗 。从物理上看 ，热损耗相关 的参量 度强 的双 重优 点。 计的传感 电路工作模式基本有两种类型 ： 有 ：介质的速度 ；介质和热线之间的温度 热线敏感元件 的机械强度不高，能承 恒流型和恒温 型。 差 ；介质的物理特性 ，诸如密度 、浓度、粘度 受的 电流较小 ，因此不适宜在液体和带有 3．1恒流工作模式 和导热 ；热线 的物理特性 ，诸如 电阻率 、电 颗粒的气体 中工作 。 典型的恒流风速计是 由惠斯登 电桥和 阻温度系数 、热传导率 ；热线的长度和直 2．2热膜敏感元件 R—C补偿 电路构成。在恒流工作模式 ，敏感 径 ；介质的可压缩性 ；流动方向和热线方 向 为了将热线测量技术应用到液体流量的 元件工作温度 (电阻)是变化的，但流过敏感元 之 间夹 角。 测量，发展了热膜敏感元件。它的机械强度较 件的电流是不变的。这样 ，就可以通过检测敏 在考虑上述 因素 的情况下 ，我们可以 高，所以能适应某些条件较恶劣的流场 (如污 感元件的温度变化 ，确定被测量介质的流速。 用经验公式表示如下 ： 水流动的流场等)。热膜敏感元件是由沉积在 恒流工作模式的风速计存在的热滞后 7_ 热绝缘衬底(通常为石英)上的0．01um薄的 效应 ，所以必须对恒流风速计动态响应进 Nu：Nu(Re，Ma，Pr，Gr，，／d，。 ，n) f11 铂金属或镍膜构成 的。最一般的衬底形状 行补偿 。恒流流速计的热滞后效应大 ，电子 是圆锥 型 、楔型和 圆柱型等 补偿困难 多，难以适应热膜技 术的使用需 式 中 ： 努 谢 尔 热膜敏感元件 由热膜 、衬底 、绝缘层 要 ，特别是补偿本身还必须随流动速度而 和导线几部分构成 。敏感元件膜是 由确保 变，致使实际使用上存在着诸 多不便 ，因而 (Nusselt)~；H=，21{=hJrld(T~一 )为热耗 敏感元件厚度 能够均匀 的阴极溅射法沉 恒流流速计 的发展实 际上困难重重 ，发展 散 ；，为热线的长度 ；Zf为流体的热传导率 ； 积而成 的。一个较厚的传导材料层被用于 速度缓慢。同时，由于恒流风速计存在使用 为热线的工作温度 ； 为环境温度，一般 把膜的终端连接到 电子加 热 电流源 。膜 通 不方便 ，随着速率的增加输 出信号减小以 情况下为流体介质温度 ；R 为热线在工作 常覆盖 了具用 1Um～2um厚的石英沉积 及敏感元件容易受到损害等问题 ，