新型小尺寸直线度测量仪研究.pdfVIP

42 机械工艺师2000．10 新型小尺寸直线度测量仪的研究 口陈继忠蒋大文谢驰口李京 运 量 在目前的直线度测量方法中，等倾干涉仪多尺互 零件上各点的值，并将此值转化为相应的频率值。经过 检珐测量精度高，但通过测微日镜测出干涉环的直径 计数电路对频率疽进行计数后输A计算机。计算机对 大大地影响了测量效率；各种准直光管及电子水平仪 数据进行处理后，得到测量结果，该测量结果可用数据 测量直线度存在的问题是由于板桥法的特点而产生的 或图形方式在屏幕上显示，从而达到实时高效的直线 度测量。 重复性误差和采样点偏差值的误差具有累加性；激光 具有方向性好、光能量强等特点，因而激光准直仪在远 三、结构特点 距离的准直测量中具有显著的优越性，但不适用于小 尺寸零件的测量。采用以“精密导轨作直线基准”的测 本研究的关键在于气浮导轨。在该直线魔测量仪 量法．可实现对小尺寸零件直线度的测量，根显然在这 中采用小孔节流与表面节流相结合的空气节流形式和 种测量中运动误差直接影响零件直线度的测量精度， 刚度大、抗干扰力强、直线运动佳的全封闭式静压气浮 而且机械滑动摩攘和滚动摩擦导轨存在低速爬行以及 导轨，其外部的供气管与导轨相连，避免了供气管对运 动部件运动时产生不利干扰。在导轨与运动部件相闭 精度趣高加工成本越高等不利因索，不能很好地满足 合的四个面的中间各有一个节流小孔，气体由节漉小 测量仪器的高精度、高速度、热稳定性好、低振动、爬行 小、少污染以及降低成本等方面的要求。本文研究的 孔流出，在导轨与运动部件之间的平面产生气膜使运 动部件处于悬浮运动状态。采用这种静压气浮导轨结 新型小尺寸直线度测量仪，采用空气静压气浮导轨作 构，既有它的优点，同时也存在着一定的限制。因节漉 测量直线基准，实现了小零件的直线度测量。仪器测 孔固定，不随运动部件运动，气流沿导轨与运动部件之 量范围：50ram；精度：0．5坤西01玎ⅡI。 间的平面间隙(近似为二维空间)流动必然存在着气压 二、工作原理 差，为保证较高舶运行精度和承载能力，需将气压差限 定在一定的范圈内，因此运动部件沿运动方向上的长 新型小尺寸直线度测量仪的工作原理如图1所 度也必然受到限制： 示。经过干燥、过滤处理后韵压缩空气经供气管送往 静压气浮导轨的进气孔。压缩空气使导轨的运动部件 式中 县——运动部件器运动方向上的长度 处于悬浮状态。测量前，通过计算机控制步迸电机，谓 s一测量行程 整运动部件的位置使变频涡流传感器的稠头复位。将 L——表面节流沟槽长度 被测零件放在运动部件的工作台上，保证被测零件的 仪器的驱动部分，采用珊(强台式)步进电机。混 测量直线与导轨运动方向一致。利用计算机调节采样 合式步进电机具有小步距和控制功率小的性能。针对 混合式步进电机本身结构选用双极恒疏、细分控制驱