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第五章 压电式传感器  上海商学院 计算机与电子技术学院 电气技术系 2008-9-26 三、压电式金属加工切削力测量 四、压电式玻璃破碎报警器 本章小结 1、石英晶体有三个晶轴：Z轴又称光轴，该方向上没有压电效应；X轴又称电轴，垂直于x轴的晶面上压电最显著；y轴又称机械轴，沿y轴方向上的机械变形最显著。 2、当沿着X轴对压电晶片施加力时，将在垂直于X轴的表面上产生电荷，这种现象称为纵向压电效应。沿着y轴施加力的作用时，电荷仍出现在与X轴垂直的表面上，这称之为横向压电效应。当沿着Z轴方向受力时不产生压电效应。 3、用石英晶体制作的压电式传感器中主要用纵向压电效应。它的特点是晶面上产生的电荷密度与作用在晶体上的压强成正比，而与晶片厚度、面积无关。横向压电效应产生的电荷密度除了与压强成正比外，还与晶片厚度成反比。 6.4 压电式传感器的应用 压电式传感器可用于力、压力、速度、加速度、振动等许多非电量的测量，可做成力传感器、压力传感器、振动传感器等等。 一、压电式测力传感器 右图是一种利用石英晶体的纵向压电效应，将“力”转换成“电荷”并通过二次仪表转换成电压的压电式力传感器。它具有气密性好、硬度高、刚度大、动态响应快等优点。目前，测力传感器已组成各种锤头（钢、铝、尼龙、橡胶）型测力锤，可以测量动态力、准静态力和冲击力。 压电式测力传感器外形示意图 二、压电式加速度传感器 压电式加速度传感器是一种常用的加速度计。它的主要优点是；灵敏度高、体积小、重量轻、测量频率上限较高、动态范围大。但它易受外界干扰，在测试前需进行各种校验。如厂的YD型压电式加速度传感器就是典型的一种其外形如下图所示，有端面和侧面引出两种基本形式，它主要用于各种机械振动的测量。 压电式传感器的外形示意图 * * * * 压电式传感器是以某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器。它可以测量最终能变换为力的各种物理量，例如力、压力、加速度等。 压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。近年来压电测试技术发展迅速，特别是电子技术的迅速发展，使压电式传感器的应用越来越广泛。 第一节 压电效应 某些晶体，在一定方向受到外力作用时，内部将产生极化现象，相应地在晶体的两个表面产生符号相反的电荷；当外力作用除去时，又恢复到不带电状态。当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变，这种现象称为压电效应。具有压电效应的物质很多，如石英晶体、压电陶瓷、压电半导体等。 第二节 压电材料 一、石英晶体 石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。它是二氧化硅单晶，属于六角晶系。图5－2是天然石英晶体的外形图，它为规则的六角棱柱体。石英晶体有三个晶轴：Z轴又称光轴，它与晶体的纵轴线方向一致；X轴又称电轴，它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴；y轴又称机械轴，它垂直于两个相对的晶柱棱面。 a) b) c) 图5－2 石英晶体的外形、坐标轴及切片 从晶体上沿XYZ轴线切下一片平行六面体的薄片称为晶体切片。当沿着X轴对压电晶片施加力时，将在垂直于X轴的表面上产生电荷，这种现象称为纵向压电效应。沿着y轴施加力的作用时，电荷仍出现在与X轴垂直的表面上，这称之为横向压电效应。当沿着Z轴方向受力时不产生压电效应。 纵向压电效应产生的电荷为 qxx＝dxxFx (5-1) 式中，qxx为垂直于X 轴平面上的电荷，dxx为压电系数，下标的意义为产生电荷的面的轴向及施加作用力的轴向；Fx为沿晶轴X方向施加的压力。 由上式看出，当晶片受到X 向的压力作用时，qxx 与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关。如果作用力Fx改为拉力时，则在垂直于X轴的平面上仍出现等量电荷，但极性相反。 横向压电效应产生的电荷为 (5-2) 式中，qXY为了轴向施加压力，在垂直于X 轴平面上的电荷 dXY为压电系数，Y 轴向施加压力，在垂直于X 轴平面上产生电荷时的压电系数；FY为沿晶轴Y方向施加的压力。 根据石英晶体的对称条件dXX=-dXY，所以 由上式可以看出，沿机械轴方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的，式中的负号表示沿Y轴的压力产生的电荷与沿X轴施加压力所产生的电荷极性是相反的