焰熔法单晶体生长炉炉体结构设计与计算.pdfVIP

第11卷第2期 沈阳工程学院学报（自然科学版） Ｖｏｌ.11 Ｎｏ.2 2015年4 月 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｓｈｅｎｙａｎｇ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ（Ｎａｔｕｒａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ ） Ａｐｒ． 2015 ＤＯＩ ：10． 13888／ ｊ． ｃｎｋｉ． ｊｓｉｅ ｎｓ ）． 2015． 02． 019 焰熔法单晶体生长炉炉体结构设计与计算 刘旭东，毕孝国，唐 坚，牛 微，董颖男 （沈阳工程学院能源与动力学院，辽宁沈阳110136） 摘 要 以氢气和氧气的燃烧传热为基础，对焰熔法单晶体生长炉的结构进行了设计，计算炉膛与炉体内的温度分布， 分析炉体结构参数对炉体温度分布的影响规律。结果表明：由于高温火焰与内壁之间的对流与辐射换热，内壁温度在观 测孔下沿30 ｍｍ 处达到最高，为1757Ｋ ；增大保温层厚度有利于提高炉体的保温性能和外壁温度的降低，为避免炉体 内壁温度高于耐火材料的耐火度，同时需要增加耐火层的厚度；降低保温层的导热系数，耐火层温度会升高，而且径向温 度梯度减小，而保温层的径向温度梯度明显增大，外壁温度显著降低。 关键词 焰熔法；单晶体；结构设计；温度分布 中图分类号 ＴＦ806 文献标识码 Ａ 文章编号 1673-1603 2015）02-0176-05 焰熔法是从熔体中生长单晶体的方法之一［1］。 径在此位置应该突然扩大，采用焰熔法晶体生长炉结 其原料的粉末在通过高温的氢氧火焰后熔化，熔滴在 构设计剖视图如图1中的ａ 图所示。 下落过程中冷却并在结晶杆上端插有的籽晶上固结逐 从图中可以看出，炉体高为 280 ｍｍ ，外径为 渐生长形成晶体。通过结晶杆下降，使落下的粉料熔 184ｍｍ ，整个炉体由炉膛、耐火层、保温层和不锈钢外 体能保持同一高温水平而结晶［2-4］。由于火焰在炉膛 壁组成。炉膛内腔由3个圆锥台组成，上部为燃烧区 内的径向和轴向均形成一定的温度梯度，使得落在晶 域，该区域的上部直径为44 ｍｍ ，下部直径为50 ｍｍ ， 体上端的熔体能够稳定持续地生长。 高度为110 ｍｍ ；中部为晶体生长区域（或称观测区 实践表明，晶体生长炉体是整体设备最为关键的 域），该区域的上部直径为50 ｍｍ ，下部直径为60 ｍｍ ， 系统之一。因为炉膛的结构特征决定了火焰在炉膛内 高度为20ｍｍ ；下部为保温区域，该区域的上部直径为 的温度场和流场的特征，这将直接决定晶体是否溢流、 60 ｍｍ ，下部直径为66 ｍｍ ，高度为150 ｍｍ 。耐火层 是否扩肩、是否形成多晶等各种影响晶体质量的问 用刚玉粉和粘土混合而成，保温层用石棉填充，外壁是 题［5-8］。炉体中耐火层、保温层的材料和厚度也直接 用2 ｍｍ 厚的钢板加工制成的圆筒。在离炉体上沿 影响着炉膛向外传递热量，这是保证晶体生长所必需 110ｍｍ 处，在炉体径向方向开2个相互垂直、尺寸为 的径向温度梯度最基本的条件之一。 30 ｍｍ ×10 ｍｍ 的观测孔，用于晶体生长过程中对晶 体状态和生长位置的观测与控制。 1 炉体结构设计 图1中的ｂ 图为喷嘴结构俯视图，喷嘴外径为 由于氢气在燃烧过程中放出大量的热量，气体体 50 ｍｍ ，中心孔直径为3 ｍｍ ，通入氧气和氧化物粉末， 积急剧膨胀增大，因此炉膛结构应设计为上小下大。 离中心12 ｍｍ 的圆圈上均匀分布12个直径为3 ｍｍ 在晶体生长位置，由于晶体对烟气流动的阻碍，炉膛直 的氢气孔。 收稿日期：2014-12-05 基金项目：沈阳市新能源功能材料制备技术重点实验室建设项