激光检测系统的微尺寸测量与控制.pdfVIP

《激光杂志》1999年第20卷第4期LASER 29 JOURNAL(Vo[．20，No4．1999) 035激光检测系统的微尺寸测量和控制 漆新民周鞫宁余拱信乔树国 (南昌航空工业学院，南昌330034) 提要：本文介绍激光检测系统中实现微尺寸检测和控制的方法．该系坑利用徽处理器控制，由专用芯片驱动混合式步进电机 控制十字型位移光学导孰，采用电流细分技术实现微尺寸的高精度检测。 关键词：足寸检测和控制，步进电机．微处理器 andcontroloflaserdetect Tinysizing system Qf蔚nmin丑ⅢJunin,qYuongscinQ∞Shuguo