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XX公司主要危险有害因素清单
部门:全厂 评价人: 审核: 日期:2009、04、05 No.
序号 部门 活动/设施 危险源 危险及事故后果 是否违法 发生的可能性 暴露时间 事故后果 危险性
D=L*E*C 外延区 外延活动场所 未按规定配备灭火器 事故扩大 Y 外延区 外延 生产过程石英件破损 爆炸、火灾、中毒 1 0.5 100 50 外延区 外延 可燃、可爆的特气泄漏 爆炸、火灾 1 0.5 100 50 外延区 外延 有毒特气的泄漏 中毒 1 0.5 100 50 外延区 外延 冷却水接头未接好或阀门未开引起炉子超温 爆炸/火灾/中毒 1 0.5 100 50 外延区 外延 密封圈损坏 爆炸/火灾/中毒 1 0.5 100 50 外延区 外延 镀金板烧熔溅到钟罩 爆炸/火灾/中毒 1 1 100 100 外延区 更换特气 钢瓶泄漏 爆炸、火灾、中毒 1 0.5 100 50 仓库。 危化品储存 风扇通风口没有遮蔽罩或遮蔽罩孔太大包装物或容器被老鼠咬破溶液逸出 火灾或爆炸 1 0.5 100 50 仓库。 危化品储存 危化品禁忌物同库存放 火灾或爆炸 Y 仓库 特气:储存 特殊气候雨水进入特气库与遇水反应的化学品接触 火灾或爆炸 1 0.5 100 50 仓库 化学试剂:运送 火灾或爆炸 Y 仓库 特气:储存 阀门或密封圈损坏泄露 爆炸、燃烧. 窒息或中毒 特气:储存 阀门未带防护帽 爆炸、燃烧. 窒息或中毒 特气:储存 气瓶承压不够 爆炸 1 0.5 100 50 仓库 特气:到货卸车 伤人、爆炸 1 0.5 100 50 序号 部门 活动/设施 危险源 危险及事故后果 是否违法 发生的可能性 暴露时间 事故后果 危险性
D=L*E*C 送料 特气:运送 伤人、爆炸 1 0.5 100 50 送料 特气:运送 爆炸 1 0.5 100 50 设备部 机械维修 试机时触电 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 手电钻、冲击钻 无漏电保护器 电击伤 1 1 100 100 设备部 手电钻、冲击钻 手电钻/冲击钻漏电 电击伤 1 1 100 100 设备部 手电钻、冲击钻 电线破损 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 设备开关更换 更换时未断电 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 设备开关更换 在前级电源开关处未挂标志牌 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 真空设备高压维修 断电维修时未对高压设备放电 电伤 3 1 40 120 设备部 真空设备高压维修 维修时未断电,进入高压区 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 真空设备高压维修 试机或恢复时门未关 电伤 3 3 15 135 设备部 真空设备高压维修 试机或恢复时无监护人 电伤 3 3 15 135 设备部 真空设备高压维修 未查明高压状态进入维修 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 维修溅射台 未关闭射频电源 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 干刻设备高压测试 高压测试时人太靠近测试点 电伤 3 3 15 135 设备部 干刻设备高压维修 维修时未对高压设备放电 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 干刻设备高压维修 维修时未断电 电击伤 3 0.5 100 150 设备部 干刻设备高压维修 试机或恢复时门未关 电伤 3 1 40 120 序号 部门 活动/设施 危险源 危险及事故后果 是否违法 发生的可能性 暴露时间 事故后果 危险性
D=L*E*C 设备部 干刻设备高压维修 试机或恢复时无监护人 电伤 3 1 40 120 设备部 干刻设备高压维修 未查明高压状态进入维修 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 干刻电磁阀维修 拆卸前未断电 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 干刻RF 电源维修 拆卸时未断电 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 干刻RF 电源维修 试机或恢复时,外壳未装人员触电 电击伤 1 0.5 100 50 溅射台维修 RF 电源维修 未关闭射频电源 电击伤 1 0.5 100 50 设备部 光刻维修 拆激光发生器时未关机 电击伤 1 0.5 100 50 腐蚀清洗间 腐蚀清洗岗位 配液时酸液溅出 灼伤 3 6 7 126 腐蚀、清洗间 化学品存放 有机、无机,酸与碱、氧化剂混放 火灾、爆炸 1 0.5 100
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