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分子增压泵在真空技术中的应用 龚建华 储继国 分子增压泵是一种新型的高真空泵，它最大的优点是清洁、节能，中真空具有超强 的抽气能力。首先了解一下该泵为什么会具有以上的优点。 清洁真空。各种类型的真空泵由于工作机理和结构的不同所获得的真空质量是不 一样的，可以分为无油真空，清洁真空和普通真空。无油真空即无任何油蒸汽污染的 真空，是真空质量的最高境界，低温泵、离子泵以及各类干式泵可以实现无油真空。 清洁真空不是绝对无油，而是真空中的油蒸汽分压可以降到极低的水平，从而使真空 质量得到很大的提升。涡轮分子泵以及某些泵配合使用低温冷阱，可以实现清洁真空。 而普通真空则含有较高的油蒸汽分压。油蒸汽作为高分子的碳水化合物，是一种主要 的污染源。各种传统机械类型的真空泵以及以高速定向油蒸汽流抽气的真空泵，在获 取真空的同时，不可避免地会产生油蒸汽对真空的污染。而不同的真空应用对真空的 质量是有不同的要求的。各种类型的真空泵在抽除气体的同时，往往伴随着发生一些 其他的过程，油蒸汽的返流即是一种，所谓返流就是油蒸汽分子沿着与抽气方向相反 的方向逆向扩散运动，其后果造成了真空的油污染。低温泵、离子泵、干式泵等因无 油污染源，所以也无油蒸汽的返流，故能获得无油真空。各类机械原理的传统真空泵， 在抽气通道中存在用于润滑、密封等作用的泵油，所以会由于油蒸汽的扩散运动而造 成显著的污染。高速定向的油蒸汽射流具有明显的方向性，但这仅是气体动力学决定 的宏观运动，而作为 成射流的一个个油蒸汽分子还存在一种本质的无规的热运动， 两种运动的叠加可使油分子折向真空一方而造成返流，当然还有其他原因。涡轮分子 泵是一种高速旋转的机械类型的真空泵，其高速转动的轴承需用油润滑，故存在油污 染源，但该位置处于整个抽气通道的前方，低真空一侧，而其与泵的进气口即高真空 一侧之间，由于高速旋转的涡轮叶片 合存在巨大的压缩比，这一压缩比是随气体分 子的质量而成指数增加的。因为油分子是高分子，比一般的气体分子具有更大的分子 量，故而涡轮分子泵能对它产生比其他分子更大的压缩比，这一态势使得油分子返流 明显地减弱，表现在被抽空间中的油蒸汽分压大大 低，从而实现所谓的清洁真空， 当然这是在泵的工作状态下。分子增压泵虽然工作机理与涡轮分子泵不一样，但同样 具有极高的压缩比，其大小与分子的质量亦成指数关系，所以同样可以实现清洁真空。 从某种意义上讲，分子增压泵比涡轮分子泵具有更高的压缩比。通过质谱分析对比， 涡轮分子泵谱图上可以发现44 质量数的CO2 峰，而分子增压泵谱图 28 （N2 峰）以后 就不存在可以观察到的谱峰。 1 图1 分子/增压泵的残气质谱图（中科院近代物理研究所提供） 分子增压泵的抽气机理是基于全拖动的原理。气体分子在与其他分子或物体碰撞 时，可以发生动量交换，若气体分子能始终获得定向动量，便能实现抽气作用。当气 体分子与高速定向运动的蒸汽流碰撞时，气体分子是与单个油蒸汽分子之间发生动量 交换。而气体分子与高速运动的物体发生碰撞时，则是气体分子与刚性表面之间发生 动量交换。分子增压泵就是属于后者。该泵的抽气单元为圆盘上分割出的从边缘指向 中心的螺旋通道，吸气级具有两个平行的拖动面，而压缩级仅有一个拖动面，且压缩 级是由 个拖动面串接而成，气体沿着螺旋通道依次由中心流向外缘，再由外缘流向 中心， 级迂回后最终流向排气口。高速旋转的圆盘平面传递给碰撞其上的气体分子 的动量应沿着切线方向，由于分割出的螺旋通道与半径方向有一夹角，故气体分子所 获得的切向动量沿着螺旋通道方向有一分量，该分量迫使气体分子沿着通道从圆盘的 外缘向中心运动（压缩），同样改变螺旋方向，也能迫使气体分子从中心向外缘运动（压 缩）。正是 级的压缩通道串接起来，使得分子增压泵可以形成巨大的压缩比（对 N2 8 而言可达 10 ）。这样巨大的压缩比可以保证处于泵的前级部分润滑装置产生的油蒸汽 难于返流至高真空一侧，这就是分子增压泵能够获得清洁真空的关键所在。作为完整 的真空机 ，分子增压泵只需一级前级低真空泵即可 成高真空机 。对于机 ，分 子增压泵不仅能抑制自身的返流，其压缩比还能有效的抑制前级泵的返油，而对于罗 茨泵机组便做不到这一点。由于罗茨泵压缩比很低 （约几十），所以除自身的返油外， 该机组系统