分子泵说明书2.2.pdfVIP

分子泵安全使用说明 在安装与使用分子泵前，泵的安装与操作人员都应仔细阅读本使用说明书，并按照说明书中规定的 条款安装与操作，以免造成人员伤害与设备损坏。 安全警示说明 危险：表示为了防止危及人身安全，需要引起高度注意且必须遵守的事项； 警告：表示为了防止损伤或损坏泵，需要引起中度注意且必须遵守的事项； 小心：表示为了使泵的使用效果最佳，需要引起轻度注意且需要遵守的事项。 保修说明 凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。 凡属下列情况之一的，不予保修： 1.用户未经授权对产品私自拆卸； 2.用户保管或使用不当（如撞击、强放射性环境、强磁场环境等）； 3.属于用户其他原因造成的损坏。 免责声明 当用户严格遵照本说明书中的规定安装和使用时，KYKY 分子泵是安全、方便和有效的。 泵的操作人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。由于用户没有仔细阅读说明书、或未按 照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，KYKY 将不负担任何责任。 本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有 最终解释权。由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属 KYKY 所有。 1 概述 1.1 分类与特点 本说明书所列分子泵，按口径不同，从 100mm 到 400mm （对应抽速从110l/s 到 3500l/s ）共 5 个系 列，20 种泵。 分子泵一般有两种结构形式，一种是由动静叶列组成的涡轮分子泵，一种是由涡轮级加牵引级构成 的复合型分子泵。复合型分子泵的特点是使得分子泵高压强区的抽速有所提高，另一特点是使得出口耐 压得到提高，因此可以适当减小前级泵的规格，可使用户节省投资。根据分子泵轴承润滑方式不同，分 子泵有油润滑、脂润滑两种。一般情况下，油润滑分子泵需竖直安装（F-100/110 、F-100/150 可以水平安 装），脂润滑分子泵可以任意角度安装。 1.2 主要用途及应用领域 分子泵是用于对一个封闭的真空腔在分子流及接近分子流区域内抽真空，不使用冷阱或挡板，也可 以得到一个较高的真空。它广泛的应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造以 及真空技术的各个领域。 北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY ） 1.3 型号组成及含意 说明： -□/□□ 特征代号 2 额定抽速（l/s） 高真空接口口径 特征代号 1 说明： 特征代号 1： “F”，表示涡轮分子泵； “FF”，表示复合分子泵。 特征代号 2： “F”，表示可以采用风冷的泵，区别于水冷； “N”，表示耐腐蚀泵； “C”等其他字母，表示产品或性能的改进 相关性能参见各系列的技术说明。 1.4 工作条件 分子泵只在分子流区域（涡轮泵、复合泵）或接近于分子流区域（复合泵）有抽速（涡轮分子泵连 续工作入口压强要求小于等于 1Pa，复合分子泵连续工作入口压强要求小于等于 5Pa ），且要求前级排气 口压强保持在 10Pa 以下，因此必须配置合理的前级泵，并使用与之相匹配的KYKY 分子泵控制器。 图 1-1 分子泵的应用（真空系统原理图） 北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY ） 1.5 装箱单 在打开包装箱后，请仔细核对箱内分子泵及其附件。 表 1-1 装箱单 序 号 名 称 单位 数