钛膜表面阳极氧化层制备及表征.pdfVIP

维普资讯 钛膜表面阳极氧化层制备及表征 刘文科，曹小华，彭述明，龙兴贵，杨本福，罗顺忠，王维笃 (中国工程物理研究院，四川 绵阳621900) [摘 要] 为了研究钛膜表面阳极氧化层对吸附和解吸氢同位素特性的影响，需制备和表征钛膜表面阳极氧化层。设计了钛 膜表面阳极氧化装置，确定了制备厚度不同的氧化层的 极氧化工艺参数，其工艺简单、易操作；并对阳极氧化层进行了AES深度 剖析和XPS化合价分析。其结果如下：在确定的工艺参数下，设计加工的阳极氧化装置能够制备出表面呈彩色的阳极氧化层，而且 表面平整、光滑、均匀，与基体金属结合牢固；采用AES深度剖析确定了阳极氧化层的厚度，而且在其它奈件相 同时，获得阳极氧化 层的厚度随着电压、H2SO浓度和时间的增加而明显变厚的规律；采用XPS研究了阳极氧化层钛的主要价态为+4、+3和+2价，氧 化层主要组成为TiO2、Ti03和TiO。 [关键词] 钛膜；阳极氧化；制备；表征 [中图分类号