铜及其合金的化学抛光工艺研究.pdfVIP

维普资讯 第35卷 第6期 表 面 技 术 VO1．35 No．6 2006年 l2月 SURFACE TECHNOLOGY Dec．2oo6 铜及其合金的化学抛光工艺研究 张婕 ，梁成浩 ，王鹏 。郭承忠 (1．大连理工大学化工学院，辽宁 大连 116012；2．大连海事大学机电与材料工程学院，辽宁 大连 116026) [摘 要] 对铜及其合金的化学抛光工艺及配方进行研究，通过正交试验得到了一组较好的铜及其合金化学抛光工 艺配方。在此基础上讨论 了抛光液各组分浓度、抛光温度以及抛光次数对抛光效果的影响。结果表明，经化学抛光后的铜 及其合金表面光亮，达到镜面效果。抛光液维护方便、操作安全、无有害气体选出，是一种理想的铜及其合金表面化学抛光 工 艺。