一种减少金属线Al空洞的金属线溅射膜工艺.pdfVIP

  • 18
  • 0
  • 约4.88千字
  • 约 1页
  • 2015-08-05 发布于江西
  • 举报

一种减少金属线Al空洞的金属线溅射膜工艺.pdf

金属学与金属工艺

维普资讯 第36卷 第6期 2007年 12月 表面技术 V01.36 No.6 Dec.2007 SURFACE TECHNOLOGY 200000r . 160000} , 3 结 论 C:120000} 80000} 40000l, 1)采用不同电源方式,在不同电解液中制备的氧化铝膜的 0 ————————————一 阻抗谱各不相同,阻抗谱反映出的阻挡层和多孑L层的信息不同, l0000 25000 40000 l00002000030000

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档