喷雾电化学放电加工难导电硬脆材料试验研究.pdfVIP

设计 ·研 究 《电加工与模具》2012年第3期 喷雾电化学放电加工难导 电硬脆材料试验研究 刘志东，于建元 (南京航空航天大学机电学院，江苏南京 210016) 摘要 ：针对传统电解电火花加工难导电硬脆材料存在的问题 ，提 出了一种使用开槽金属轮作为 一 极 ，另一极为紧贴工件表面的进电金属片的喷雾电化学放 电加工方法 ，对单晶硅和氧化铝陶瓷进 行 了试验研究，并加工出了窄槽实物 。通过分析加工表面微观形貌可知 ，单晶硅等半导体材料主要 依靠电化学腐蚀、电化学放 电和化学溶解进行综合蚀除，氧化铝陶瓷等绝缘材料经电化学放电通常 只能产生软化层 ，再 由机械方法实现延性方式去除。最后研究了峰值 电压、脉冲宽度、脉冲间隔、电 解液浓度、开槽金属轮转速等因素对单晶硅和氧化铝陶瓷材料去除率和表面粗糙度值的影响规律 。 关键词：喷雾 ；电化学放电；难导电；硬脆材料 ；蚀除方式 中图分类号：TG661 文献标识码 ：A