三维微细电火花加工精密运动系统的设计研究.pdfVIP

工 艺 ·装备 《电加工与模具}2008年第6期 三维微细电火花加工精密运动系统的设计研究 林海波 (1．台州职业技术学院机电工程学院，浙江台州 318000； 2，浙江工业大学机电工程学院，浙江杭州 310014) 摘要：提出一种新的、可用于多种微细加工的、低速、多 自由度并具有纳米精度的三维极微细 电火花加工系统。初步构建出极微细电火花加工机 电系统功能模块，实现极微细电火花三维加工 过程的监测与控制；优化加工系统的控制和基本的工艺参数设置；达到纳米级 电火花加工的关键技 术途径 。 关键词：微细电火花加工 ；超精密 ；平台；微结构 中图分类号：TG661 Researchon DesignofaThreeDimensionsUltraPrecisionsystem LinHaibo · (1．Taizh