沉积温度对ZnO薄膜结构及发光性能的影响.pdfVIP

维普资讯 第28卷 第 1期 材 料 热 处 理 学 报 V0】．28 No ．1 2007年 2月 TRANSACTIONSOFMATERIALSANDHEATTREATMENT February 2007 沉积温度对 ZnO薄膜结构及发光性能的影响 范希梅 ， 连建设 (1．西南交通大学材料学院，四川 成都 610031； 2．吉林大学材料学院，吉林 长春 130025) 摘 要 ：利用 Nd．YAG激光器(波长为 1064nm，频率为 10Hz)做光源 ，采用纯金属锌靶 ，以si(1l1)为基体在有 氧的气氛中通过激光烧蚀锌靶表面来制备氧化锌薄膜 ，研究基体温度对 ZnO薄膜结构及发光性能的影响。 通过 XRD和AF