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维普资讯 维普资讯 第 6期 刘新彬等 ：氮化硅张力涂层对取 向硅钢性能的影响 129 实验用钢表 面 已涂覆绝缘 层，需要 通过包括碱 该结果表明，实验通过反应磁控溅射后 ，在取 向硅钢 洗 、酸洗 、抛光的前处理工艺将绝缘层去除。操作过 表面成功溅射了氮化硅涂层。 程为 ：首先通过碱洗 (在熔融 NaOH中浸泡)12min去 除磷酸二氢铝绝缘膜，取出后用水冲洗去除生成物 。 然后通过在 10％的盐酸 中浸泡 3min去除硅酸镁涂 层 ，酸洗后用去离子水冲洗。最后将前两步处理过得 的硅钢片放在 3％HF十97％H，O，的化学抛光液 中抛 光 60s，然后用无水乙醇冲洗 ，冲完之后拭擦干 ，在干 燥空气中保存 ，防止氧化。 实验采用JCK．500射频磁控溅射系统，在取向硅 钢表面进行 siN涂层的沉积试验。将经过预处理 的 硅钢片置于工作室 ，当工作室 的真空度 7．5×10 Pa