304L不锈钢钝化膜半导体性能研究.pdfVIP

维普资讯 第 18卷 第 5期 腐蚀科学与防护技术 V01．18NO．5 2006年 9月 CoRROSION SCIENCE AND PRo1=E：CTIoN TECHNoLoGY Sep．2006 304L不锈钢钝化膜半导体性能研究 李金波 2，郑茂盛 ，朱杰武 1．西安交通大学 金属材料强度国家重点实验室，西安710049；2．西安石油大学 科技处。西安 710061 摘要：利用极化曲线、电容测量法和x射线光电子能谱 (xPs)研究了304L不锈钢在0．5mol／LNaHCO3溶液中所 形成的钝化膜的半导体性能，同时对影响钝化膜半导体性能的因素进行了讨论．结果表明：在 电位小于 一0．4V范 围内，膜呈P型半导体特性；当电位处于一0．4V至0．26V范围内膜呈n型半导体特性．随着测试频率的降低及成 膜 电位的负移，Mott—Schottky曲线的斜率减小，表明膜 内的杂质密度增加。氯离子的加入使得 M．S直线的斜率减 小，增加膜 内的杂质密度，容易造成点蚀的发生．XPS测试结果表明钝化膜主要 由内层的铬氧化物和外层的铁氧化 物组成。这与以前的研究结果相一致． 关键词：电容测量法 ；半导体性能；MottSchottky曲线 ；杂质密度 中图分类号：0646 文献标识码：A 文章编号 ：1002—6495(2006)05—0348—05 SEM ICoNDUCTIVE PRoPERTIESoF PASSIVE FILM FoRM ED oN 304L STAINLESSSTEEL LIJin_bo一，ZHENGMao-sheng，ZHU Jie—wu 1．StateKeyLaboratoryofMechanicalBehaviorsforMaterials，Xi’anJiaotongUviversity，Xi’an710049； 2．DepartermentofScienceandTechnology， ’anShiyouUniversity，Xi’an710061 ABSTRACT：Thesemiconductivepropertiesofpassivefilm formedon304Lstainlesssteelin0．5mol／ LNaHCO3solutionweredetectedusingpolarizationcurve，capacitancemeasurementandX—rayphoto— electronspectroscopy(XPS)measurements．Inaddition，thefactorswhichaffectthesemi—conductive characteristicofthepassivefilm wasalos discussed．Theresultsshow thatthepassivefilm exhibitsp- typesemiconductivecharactersinthepotentialregionlowerthan 一0．4V，andn—typesemiconductive chractersinthepo tentialregionof一0．4V to0．26V ．W ith themeasured frequencydecreasingand film fomr ationpo tentialmovingtomuchnegative，theslopesofM_Splotsdecreases，thisindicatesthat theimpuritydensityinthefilm increases．Theadditionofchlorineionintheoslutioncandecreasethe slopesoftheM-Splots，a