光栅数显技术及应用.pdfVIP

维普资讯 光 栅 数 显 技 术 及 应 用 长征 电器四厂 张齐云 付位移一个栅距d，莫尔条纹则 位 移 一个条 纹间距 一 、 敛丑的分类 W。 (b)由于0角很小，条纹间距对栅距起到放大 作 根据传感器不同，数显可分成。 (1)感应同步 用。W=d／e。 (C)消差作用 (平均效 应 )，即 消 ■■■■■■■■l ■ 器数显； (2)光栅数显 ； (3)磁栅数显 ； (4) 除光栅栅距 的局部误差。光栅尺寸的刻线是密集的． 容栅数显。 光电元件接收的莫尔条纹是一个区域内所含的栅线形 我们这里主要介绍光栅数显的原理和应用。 成的，光信号是该区域内n条刻线的综合平均的结果． 因此，任一光栅有很小的周期误差6甜寸．平均效 应可 二、光■敛丑原毽 以减小其误差 ，其值 为△：6／^一， 。 光栅数显系统由两部分构成。光栅传感器和光栅 (2)光栅信 j 嘲 数显表。 1．光栅传感器一一光栅尺 (1)莫尔条纹原理 以长光栅形成的莫尔条纹为例．当栅距相同的两 块光栅的栅线面相对叠合 ，而两块光栅之间形成-“·个 很小的夹角0，在0角补角的平分线上即近似于光栅栅 一 l舯 ‘ 27● ‘ 线的垂直方向出现明暗相间的条纹。这种条纹称为横 向莫尔条纹、如图1(a)所示．当两块光栅的栅距不相 等，而夹角0为零时，就形成平行于 栅线的明暗相问 的条纹．这种条纹称为纵向莫尔条纹 ，如图l(b) 所示。当两块光栅的栅距相等，而夹角0为零时，形 成宽度为无限宽的横向莫尔条纹．这种条纹称光闸英 尔条纹，如图 l(C)所示．目前 ，光栅传感器的读 数头普遍采用四裂相指示光栅，光栅付就形成这种条 (b) 纹 ． 图 2 奠尔条纹的特点。(a)严格的对应关系·光栅 光栅尺的位移造成莫尔条纹位移 ，将这种位移信 号转换成光电信号，这就是光栅信号。 读数头采用四裂相指示光 栅，A、B、CD．为 四个窗口， 图2(a)．多数光栅传感器采 取直接 接收方式，即在标尺光栅和指示光栅的一边用发光二 极管发光照射。在它们的另一边用光电三极管接收， 并且使发光二极管和光 电三极管与指示光栅 窗 L-q相 对应．如图2 (b)。 由光 电三极管接收到的啄始光栅信号是正弦波信 号．这四路正弦信号其相位差依次为9O。，分为两种方 式取出t一种为串接法，见图3(a)；另一种为直 接法，见图3(b)，这两种方式所获得的光栅信号 圈 1