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: 郭俊婷 等 磁控溅射法沉积纳米 薄膜的性能研究 Cu ０５１２３ 文章编号: ( ) １００１-９７３１ ２０１５ ０５-０５１２３-０５ 磁控溅射法沉积纳米 薄膜的性能研究∗ Cu , 郭俊婷 徐 阳 　 ( , ) 江南大学 生态纺织教育部重点实验室 江苏 无锡 ２１４１２２ : ( ) 摘 要 采用卷绕型磁控溅射设备在涤纶 针 　 　 PET 实 验 ２　 　 , 刺毡表面沉积了纳米结构 薄膜 利用 射线衍射 Cu X ( ) , 实验材料 仪 XRD 对薄膜的组分和结晶状态进行了分析 用原 ２．１　 ( ) ( , 子力显微镜 AFM 分析了不同溅射工艺参数对纳米 涤纶针刺毡 江苏菲特滤料有限公司 面密度 , / ),２ ; Cu 薄膜微观结构和颗粒直径的影响 并较为系统地分 ５００ m 幅宽 ８００ mm 纯度为 ９９．９９％的金属铜 g 、 , . 析了溅射功率 工作气压和沉积时间对镀铜 PET针刺 靶 尺寸为 ９５７ mm×９０ mm×６ mm . , , 毡导电性能的影响 结果表明 增大溅射功率 镀铜 ２．２　实验设备 , ( PET针刺毡导电性和 Cu 膜均匀性变好 但应控制在 JZCK-８００ 高真空卷绕磁控溅射设备 沈阳聚智科 ; , ), . ６ kW以下 随工作气压的增大 薄膜方块电阻先减小 技开发有限公司 设备示意图如图 所示 该设备具１ , ; , ( , 、 ), 后增大 薄膜厚度更加均匀 随着沉积时间的延长 Cu 有 个矩形靶 其中 中频靶 只 射频靶 只 最大３ ２ １ , . , , 粒子的直径增大 Cu膜的导电性和均匀性明显变好 卷装直径为 ４００ mm 溅镀有效宽度为 ８００ mm 常用