超硬材料表面镀覆技术及应用（续）.pdfVIP

维普资讯 7 · 建喂 覃{‘{}兽～ 覆 超硬 表 面镀覆孜术 蹰 续) ：＼ 。66 燕山大学 臧建兵 赵玉成7王明智 王艳辉 ． ^ - - _ _ - - - — ～ 、J 1 、＼第四节真空微蒸发镀覆技术原理c———————一 1 美键技术 1．1 镀覆温度必须低于 800℃．高于 600℃。真空微 蒸发镀覆温度 650—750℃ 为了保证镀覆Ti过程 中．金刚石表面有碳化物层 形成．温度应选择高于 c与 反应温度，为此我们首 先采用真空磁控溅射方法对金剐石镀 。由于镀覆温 度低 ．钛层只是物理吸附在金刚石表面。测定其 DTA 曲线发现 ，在 600—1200℃出现明显的放热峰 根据热 0 05 【 I5 2 25 3 35 4 力学数据， 与金剐石碳原子反应形成碳化物是 自由 时间 (h】 能降低过程，即放热反应 。足够的温度是使反应克服 图3 磁控溅射镀钛垒剐石 880℃热处理时间对镀 能垒、原子扩散所必须的。由DTA曲线分析Ti与金刚 屡 与金 刚石结合强度影响 石 自600℃开始发生反应。同时XRD分析表明磁控溅 以这种磁控溅射镀覆的厚度可控的纯金属镀层和 射镀 金剐石未经热处理只有 和金刚石物相存在 ， 超硬材料为对象，给其界面问题研究提供了方便条件。 说明界面无化学反应，而经高于600℃热处理 lO分钟， 根据不同种类金属镀覆 的超硬材料差热曲线 (DTA)的 即有 TiC形成 ，以上说明 与金刚石反应形成 TiC的 热效应峰获取界面反应发生的温度 ，根据对这些温度 最低温度为600~C。温度升高，反应动能增加，反应速 下热处理的镀金属超硬材料的XRD相分析，确定了界 度加快．形成TiC量增多。如图2表 明了磁控溅射镀 面反应生成的化合物成分和结构。各类金属镀层与超 钛后的金刚石在 880℃热处理时．TiC层的厚度随着时 硬材料界面反应生成化台物的成分、结构及生成条件 间缓慢增加。图3是直接测定的大颗粒金剐石与镀层 汇总如下 …： B才一f-I、●，_I／I，，一一一一一I．■■ 之间的结合强度随着热处理时间的变化 ，在 l小时才 Ti／金刚石：873K(砷0℃)+TiC 能达到较高的结合强度 。这些结果表明，镀层与金剐 cr，金 刚 石 ：873K (600℃)．chG； 1273K 石之间形成碳化物并获得强力结合，是受温度和时间 (8oo℃)．Cr7q 控制的较缓慢 的过程。所 以磁控溅射等 PVD镀钛金