酸浸＋等离子体刻蚀YC6微米-纳米金刚石复合涂层工具研究.pdfVIP

维普资讯 2005年 lOJ] 金刚彳Lj磨料磨具丁程 October．2005 第 149期 第5期 Diamond AbrasivesEngineering Seria1．149 No．5 文章编号：1006—852X(2005)05-0018-06 酸浸 +等离子体刻蚀 YG6微米一纳米金刚石复合涂层工具研究 苗晋琦 张鬲君 王成彪’ 吕建 国 唐伟忠’，吕反修’ (1．中国地质人学，武汉 430074；2．f『1原 学院，郑州 450007；3．北京科技大学，北京 100083) 摘 要 金刚 涂层工具 一直是金刚石膜工具应片j研究的主流。制约其产业化的主要因素是涂层的附着力低和微晶金 刚石涂层工具的加1精度差。通过对衬底的有效颅处理和CVD沉积过程控制的研究 ，开发在硬质合金基体上沉积高结 合强度 、低粗糙度的金刚石涂层新技术，对于实现CVD金刚石涂层刀具高效、高精度切削加工具有重要意义。对旨在提 高金刚石涂层附着力的预处理技术，本文探索了将酸蚀脱钴+等离子体刻蚀处理衬底法。利用优化的沉积工艺，在酸浸 +等离子刻蚀处理的YG6刀片上沉积的两层金刚石复合膜表面粗糙度为0．131xm，附着力压痕测试临界载荷大于 1500N。金刚 涂层工具的切削加工性能明显高予无涂层硬质合金工具。在加工ZAISil2合金时，单层和两层金刚石涂 层车刀片的切削寿命分别是无涂层车刀片切削寿命的2l倍和28倍。 关键词 硬质合金；金刚石复合涂层；附着力；切削性能 中图分类号 TF1253 4 文献标识码 A Studyofmicro．nanocrystallinecompositediamondcoatingson cementedcarbidecuttingtools— — acid ．I．plasmasetchingmethod MiaoJinqi Zhanglijun WangChengbiao LvJianguo TangWeizhong’ LvFanxiu’ (1．ChinaUniversit)ofGeoscience，Wuhan430074，China) (2．ZhongyuanUniversit)oj’Technology，Zhengzhou450007，China) (3．Universit?’ofSciencetilldTechnology，Beijing100083，China) Abstract Thediamondcoatedtoolshas1)eenthemainstream OIdiamondfilm toolsallthetime．Thekey．whichrestrictsthedi— amondcoatedtoolsfrommarketapplications．isthelowadhesionandthepoormachiningaccuracy，Developmentofthenew tech— nologyfordepositinghighadhesionstrengthandlowroughnessdiamondcoatingsonthebodyofhardmetal，throughtheeffective pretreatmentforthesubstrateandthecontroloftheCVD process，isofsignificna ceforachieving