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M 角度精度的激光测量法 沈阳机床股份有限公司 (辽宁 110142) 李朝国 左兴旺 赵 醋 在数控机床精度检测标准要求 中，有多项与角 隔 (30mm)。 度精度相关的几何精度和位置精度 。它包括工作 台 角度干涉镜放在激光头和角度反射镜之间的光 沿导轨直线运动 中俯仰角、扭摆角 ，也包括 回转工 路中，如图 1所示。带有两个光学镜面 的角度干涉 作台的角度分度定位精度等检测项 目。 镜的一面必须面对激光头的反方 向，朝 向反射镜。 长久以来 ，对于早期 的普通机床或精度要求不 对于沿着水平轴进行 的俯仰测量来说 ，两个光学组 高的场合，自准直仪、水平仪、四象限仪等传统仪 件都垂直安装；对于扭摆测量来说，它们都要水平 器虽然精度不太高，但由于价格较低，在机床精度 安装。 检测中得到了广泛 的应用 。但 随着数控机床的发展 ， 传统的检测器具逐渐凸显出其局限性，如四轴、五 轴机床上的数控转 台需要在0～360。中的任意角度分 ＼俯仰移动 度检测 ，以便能够根据检测结果实现对任何角度误 + 差的补偿，而传统的自准直仪配合多面体的方法只 能检测若干固定角度，无法实现小角度精度的检测 XL激光 角度干涉仪 角度反射镜 要求；又如四象限仪，其测量范围较小而且非线性 图1角度测量的光学设定 误差和长期精度稳定性方面的问题无法达到精度角 激光束被角度干涉镜中包含的分光镜一分为二。 度计量的要求等。使得人们为满足数控机床检测标 一 部分光束 直接通过干涉镜，并从角度反射镜的 准 中对角度检测明确提 出的要求 ，不得不寻找更为 某一半反射回激光头。另一条光束 ：通过角度干涉 先进的工具。激光干涉仪在角度精度检测上的应用。 镜的角度分光镜，传到角度反射镜的另一半，角度 为我们提供了一种高精度、高可靠性而且 自动化的 反射镜使光束通过干涉镜返回到激光头。 检测手段，完全符合机床标准的要求，从而得到了 通过 比较光束 ，和 之间的光程差获取角度测 机床行业的普遍认 同。 量值 (即测量结果与激光器和角度干涉镜之间以及 1．激光干涉仪角度测量的原理 角度干涉镜和角度反射镜之间的距离无关)。 要采用激光干涉仪进行角度测量 ，必须将一个 2．小角度测量 光学组件 (角度反射镜)相对于另一个光学组件 小角度测量一般分为两种 ，一种是计量型小角 (角度干涉镜)的旋转，这将导致两条测量光束之间 度精度 的检定，主要针对光学角规 、小角度发生器 、 的光程差。光程差 的这种变化 ，由激光器中的干涉 自准直仪等计量检测器具的精度溯源标定，其角度 条纹计数器确定，并且 由软件转换成角度测量值或 检测范围一般不超过 1。，多数只要求测量 1内的精 者角度误差。 度即可，一般均为各级计量院所开展角度计量传递 小角度近似值为 工作所用；另一类是工业级的精度检测，主要针对 击一sin6=D／s 某些产生角度运动 的偏摆角进行检测 ，其角度范 围 式中，D为监测到的干涉仪两臂之间的长度差异变 可能大于 1。，甚至到 10。，一般如对数控机床、三坐 化；S为角度反射镜中一对反光镜之间的已知公称问 标测量机等机器俯仰、扭摆角精度的校准和补偿 。 争磊 牝 塑 73