PN结电容电压特性.docVIP

实验32 PN 结电容电压特性测量 一、实验目的 1. 掌握CV-2000 型电容电压特性测试仪的使用方法； 2. 熟悉C-V 特性的测量。 二、实验仪器 CV-2000 型电容电压特性测试仪是测试频率为1MHz 的智能化数字的电容测试仪器，专 用于测试半导体器件PN 结的势垒电容在不同偏压下的电容量，也可测试其它电容。 面板上的发光二极管指示仪器的工作状态，用数码管组成的显示板，将被测元件的数值， 小数点清晰地显示出来。仪器有较高的分辨率，电容量是四位读数，可分辫到0.01pF，偏 置电压分辨力为0.1V，漏电流分辨力为0.01uA。 该仪器采用电流电压测量方法，它用微处理器通过8 次电压测量来计算每次测量后要求 的参数值。用一个相敏检波器和模数转换器顺序快速完成电压测量。正交测量通过交换测量 信号的相位来进行，而不是参考相位检测。因而不需要精密的模拟相位转换成电压矩形波电 路。通过从同一个高频信号源形成测试信号和参考信号，来保证正确的相位关系。由微处理 器根据已知的频率和测试信号相位，用ROM 存储器内的程序来控制测量，以及存储在RAM 中的校准数据来计算被测元件电容值。 三、实验原理 C-V 法利用PN 结或肖特基势垒在反向偏压时的电容特性，可以获得材料中杂质浓 度及其分布的信息，这类测量称为C-V 测量技术。这种测量可以提供材料截面均匀性 及纵向杂质浓度分布的信息，因此比四