类金刚石碳膜的研究进展.pdfVIP

维普资讯 辛 L L -L‘址幸 类金刚石碳膜的研究进展 i综述 l 江功武，于 翔 ，王成彪 每 1 疗11r 母 (中国地质大学(北京)工程技术学院 国家科学钻探实验室，北京 100083) 摘要：从类金刚石碳膜作为耐磨薄膜的角度出发，综述了近年来类金刚石碳膜(DLC)结构、沉积技术、沉积机 理和性能方面的相关研究进展。介绍了DLC的相结构、过滤阴极真空弧(FCvA)、类金刚石碳膜的沉积机理 及主要工艺影响因素，同时指出了存在的问题及研究发展趋势。 关键词：相结构；过滤阴极真空弧(FCVA)；sp3和氢含量；发展趋势 中图分类号：TG174．444；TQ164 文献标识码：A 文章编号：0254．6051(2003)11．0001．06 ResearchProgressofDiamond．1ikeCarbonFilms JIANGGong—wu，YU Xiang，WANGCheng—biao (SchoolofEngineeringTechnology，