薄膜材料与技术V2008.pdf

薄膜材料与技术薄膜材料与技术 主讲教师：杨会生 e-mail: hsyang@263.net 薄膜材料与技术 教学方法： 突出工程与科研突出工程与科研、、理论与实践相的结合理论与实践相的结合；； 基础知识与工程应用相结合； 教学方法力争实现通俗教学方法力争实现通俗、、可视可视、、实用实用。。 教学目的教学目的：： 初步了解真空镀膜设备的结构组成和工作原理； 能够经简单培训即可操作镀膜设备； 能够与设备工程师进行有效沟通； 对设备升级提出建设性意见； 为适应科研更高层次需求奠定基础。 薄膜材料与技术 VTI 4000S 塑料金属化（塑料镀膜） 薄膜材料与技术 LEYBOLDLEYBOLD 1504/APS1504/APS 光学薄膜沉积系统光学薄膜沉积系统 薄膜材料与技术 LEYBOLD 1504/APS 光学薄膜沉积系统 薄膜材料与技术 alpha 900T Hard Coating Plant for Tools （工具镀膜机 薄膜材料与技术 alpha 900T Hard Coating Plant for Tools （工具镀膜机 薄膜材料与技术 Low-E 玻璃连续镀膜生产线 薄膜材料与技术 SMARTWEBSMARTWEB 卷绕镀膜机卷绕镀膜机 APPLIED FILMS 薄膜材料与技术 真空的含义及特点 1. 真空是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。 2. 与大气在状态相比较，有如下几个基本特点： 各种真空容器将受到大气压力的作用各种真空容器将受到大气压力的作用 ; 气体的分子密度低。 分子间、或与其他质点（如电子、离子等）之间碰撞次数少; 分子与各种表面（如器壁）之间相互碰撞次数减少， 气体的分子自由程增大。 薄膜材料与技术 表表 常温下不同气压下的分子平均自由程常温下不同气压下的分子平均自由程 气体压强 平均自由程 气体压强 平均自由程 Pa Pa cm cm Pa Pa cm cm 105 6.5 × 10-6 1 × 10-3 5 × 102 103 5 × 10-4 1 × 10-6 5 × 10-5 102 5 × 10-3 1 × 10-9 5 × 108 1 × 10-1 5 × 100 1 × 10-4 5 × 1013 表 真空区域的划分 粗真空 低真空 高真空 超高真空 105 ~103 （Pa） 103 ~10-1 （Pa） 10-1 ~10-6 （Pa） 10-1 ~10-6 （Pa） 760~10 （Torr ） 10~10-3 （Torr ） 10-3~10-8 （Torr ） 10-1~10-8 （Torr ） 薄膜材料与技术 Pa pascal , SI 压强单位 真空常用单位真空常用单位 1 Pa 1 N/m2 0.0075 Torr 1 Torr 133 Pa 1mbar 3/4 Torr 100 Pa mbar Pa Torr atm mbar 1 100 0.75 9.87x10-4 Pa 1x10-2 1 7.5x10-3 9.87x10-6 TorrTorr 11.3333 133133 11 11.32x1032x10-3 atm 1013 101325 760 1 薄膜材料与技术 不同真空状态下各种真空工艺技术的应用 薄膜材料与技术 不同真空状态下各种真空工艺技术的应用不同真空状态下各种真空工艺技术的应用 薄膜材料与技术 真空系统的组成真空系统的组成 3.阀门 2.2.真空真空 泵 1.真空室 4.真空计 薄膜材料与技术 真空材料 真空工程的用材范围包括：真空设备的壳体， 真空规管，置放于真空容器内的各种固定、活动、可拆 卸机构及部件，各类密封材料，各类真空获得手段的工 作物质等等。 真空系统中所用的材料大致可分为两类： 结构材料 辅助材料 构成真空系统主体的材料，它将真 密封用的封脂、封蜡、粘接 空系统与大气隔开，承受着大气压 剂、焊剂、真空油、吸气剂、 力力。这类材料主要是各种金属和非这类材料主要是各种金属和非 工作气体及加热元件的料等工作气体及加热元件的料等 金属材料，包括可拆卸连接处的密 封垫圈材料。 薄膜材料与技术 表 真空系统中的真空元件的常用材料 薄膜材料与技术 真空材料的性能 材料的真空性能 材料的渗透性 材料的出气 材料的蒸发、升华、蒸气压 薄膜材料与技术 真空材料的选材原则 对真空容器壳体及内部零件材料的要求 ?机械强度和刚度机械强度和刚度、、气密性好气密性好、、低饱和蒸压低饱和蒸压、、化学稳化学稳 定、热稳定性好。 ?有较好机械加工性能及焊接性能有较好机械加工性能及焊接性能。。 对密封材料的要求 有足够低的饱和蒸气压有足够低的饱和蒸