固结磨粒金刚石线锯的研究进展.pdfVIP

第 23卷第 5期 中国有色金属学报 2013年 5月 、，01．23NO．5 TheChineseJournalofNonferrou8M etals M ay2013 文章编号：1004—0609(2013)05．1368—12 固结磨粒金刚石线锯的研究进展 王美娟，王 目初，彭超群，冯 艳，张 纯 (中南大学 材料科学与工程学院，长沙 410083) 摘 要：总结固结磨粒金刚石线锯的制备方法，主要有钎焊法、树脂结合剂粘结法和电镀法：分析金刚石表面金 属化的原理和模型，比较金刚石表面金属化方法的优缺点；探讨复合 电镀的共沉积机理，主要有吸附理论、力学 理论和电化学理论；展望固结磨粒金刚石线锯制备的发展方向。 关键词：金刚石；线锯；固结磨粒；表面金属化；复合 电沉积；沉积机理 中图分类号：TQ153 文献标志码：A Researchprogressonfixeddiamondwiresaw WANGMei-juan，WANGRi—chu，PENGChao—qun，FENGYan，ZHANGChun (SchoolofMaterialsScienceandEngineering，CentralSouthUniversity，Changsha410083，China) Abstract：Thepreparationmethodsoffixeddiamond，suchaswirebrazing，resinbondedadhesionandelectroplating weresummarized．Theprinciple，modelandmethodsofcladdingon diamondwereanalyzed，andsomemethodsof claddingondiamondwerecompared．Themechnaism ofcompositeelectroplatingcontainingthetheoriesofadsorption， mechanicsandelectrochemistrywasdiscussed．Thedevelopmentaltrendsofthepreparationoffixeddiamondwiresaw wereproposed． Keywords：diamond；wiresaw；fixedgrits；cladding；compositeelectroplating；depositionalmechanism 随着光电产业和半导体产业的快速发展，单晶硅 了广泛应用。按磨粒的类型，金刚石线锯可分为游离 片和蓝宝石等贵重硬脆材料的应用 日益广泛，且对其 磨粒金刚石线锯和固结磨粒金刚石线锯。游离磨粒金 尺寸和加工要求越来越高，例如：单晶硅片向着大直 刚石线锯的基体通常为表面镀铜 的不锈钢丝 ，在线锯 径、小厚度方向发展，集成电路基片加工要求硅片表 切割过程中，粒径为 10～151xm 的金刚石进入切割区 面有好的面型精度、小的表面粗糙度和浅的损伤层I1]。 域，并在较高的钢丝压力和进给速度共 同作用下对工 目前，贵重硬脆材料的精密高效加工技术主要有圆片 件进行切割，具有高的走线速度和切割速率，且不易 锯切割、带状工具切割和线锯切片切割。线锯切片主 产生崩边现象，但对线锯张力要求较高，磨料悬浮液 要分为金刚石线锯和金刚石串线锯。由于圆片锯的锯 回收困难，工作环境恶劣 4【_5J。固结磨粒金刚石线锯 片刚性差，易发生振动，被切割材料的平行度偏差[2]， 在很大程度上克服了这些缺点，具有 良好的应用前景， 影响材料的加工质量；带状工具的框架锯在切割过程 受到广泛关注。固结磨粒金刚石线锯制备方法主