薄膜制备答案完全版.pdfVIP

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一、填空题 真空区域划分: 粗真空 低真空 高真空 超高真空 3 3 -1 -1 -6 -6 压强(Pa) ≥10 10 -10 10 -10 ≤10 -4 -4 5 5 平均自由程(cm) ≤10 10 -5 5-10 ≥10 抽真空设备 机械泵 罗茨泵 扩散泵 5 4 -2 -6 抽气能力 10 Pa~ 1 Pa 10 Pa~ 10 Pa 5 Pa~ 10 Pa (极限真空度) 抽真空设备 分子泵 离子泵 升华泵 -8 -3 -10 -3 -12 抽气能力 5 Pa~ 10 Pa 10 Pa~ 10 Pa 10 Pa~ 10 Pa (极限真空度) PN 二. 推导赫兹-努曾方程, 并证明单位时间内在单位面积上碰撞的分子数为:N A 2πμR T 赫兹-努曾方程: 单位时间内在单位面积上碰撞的分子数为: 1 -1 −2 8kT Γ nv (s m ) v n :分子数密度 v :分子平均速率 ( ) 4 πm 证明如下: 设单位时间内v ~v +dv 的分子在单位面积上碰撞的分子数为dΓ. 所以,在dt 内v ~v +dv 的分 x x x

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