大面积减反射膜的制备.pdfVIP

硅酸盐通报 　1997 年第 6 期 大面积减反射膜的制备 孙宝斌 　罗伍文 　寇清华 ( 中国建筑材料科学研究院玻璃研究所 北京 100024) 摘 　要 :采用溶胶 —凝胶技术在玻璃上镀出大面积的减反射膜 ,此膜为多层复合膜 。所得到的膜具有优 良的光学 及机械性能 :光反射比由基片的 8 %降低到 2 %以下 ,耐磨擦 ,并可进行大面积镀膜 。本文探讨了制备大面积优质 减反射膜过程中所遇到的一些工艺上的问题 。 关键词 :减反射膜 ,制备 ,镀膜 ,光学性能 ,机械性能 1 前 　言 反射 ,抑制因镜面反射损失的光 ,达到减反射的 在现代光学薄膜生产中 ,减反射膜超过其 目的。但这种膜的机械性能及光学性能稍差 。 它所有类型的膜系 。在没有减反射膜的情况 其二是在基底表面形成高低折射率层交替的多 下 , 由于光的反射损失或是基片的高“眩光”作 层膜 ,通过每层膜间折射率系数的匹配及膜厚 用 ,使许多仪器不能正常工作 。除去传统的照 的控制 ,使入射光线在膜层间通过时 ,遵循设定 相器材及观测仪器外 ,博物馆或展览馆及商店 的合理光路发生干涉而达到减反射的目的。这 的橱窗展台 ,太阳能收集器的玻璃罩板 ,可充分 种膜减反效果好 ,膜层与基底结合牢固 , 耐磨 利用太阳能的建筑节能玻璃 ,仪器仪表的防护 性 ,抗划伤性及耐气候性非常理想 。我们设计 板等许多场合 ,都用到减反射玻璃 。这里所用 了两层及三层的膜系 ,这里主要介绍两层的 ,三 的玻璃尺寸都比较大 ,传统方法如蒸镀等不容 层与此类似 ,见图 1 。 易制得大面积的膜 。其次 ,传统方法生产的膜 都比较脆弱 ,机械性能较差 ,应用受到限制 。这 里我们采用溶胶 —凝胶技术制备出大面积的减 反射膜 , 已在 中试性生产 中制 出大于 30 ×30 (cm2) 的样品 , 并已经在汽车仪表盘等处有了 应用 ,使用效果良好 。 2 膜层技术设计 制备减反射玻璃 ,主要通过两种途径 :一种 图 1 　涂有两层膜的基片界面示意图 途径是在基底的表面沉积一层透明的低折射率 λ 材料的薄膜 ,使光经过此膜的光程恰好为 / 4 , ( n0 ,n1 ,n2 , n3 , 分别为入射媒质 通常是空 入射光在膜的两个表面发生抵消而 达到减反 ) 气 ,低折射率层 ,高折射率层 ,基底的折射率系 射的目的;另一个途径是在玻璃表面形成一种 δ δ 数 ; 1 , 2 分别为两层膜的相位厚度 , 由卡塔兰 梯度折射率层 ,其一是在基底表面形成一层凸 所给的公式 : ( 凹不平的具有“蜂眼效应”的多孔膜层 常用无 cosδ O sinδ/ η cosδ O sinδ/ η 1 1 1 1 1 2 1 2 2 ) 　 　 　 　 机酸等化学试剂腐蚀的办法制备 ,表面因这层 iηsinδ cosδ iηsinδ cosδ η