SnO2气敏材料及其制备技术进展.pdfVIP

维普资讯 SnO2气敏材料及其制备技术进展 樊 亮，彭同江 一一mlM一～．；k一一扪f兰一№～r～训一一一一一￡兰一～～lm．． 西南科技大学 材料科学 l程学院，四jIl绵阳 62J010 摘 要 ：为了解国内外SnO：气敏材料及其制备技术 的研 究进展 ，按 差 、气体敏感性不高3『的缺点，影响了气敏传感器的 照该材料的发展历程，对纳米粉体、纳米薄膜、纳米一维材料 、介孔 使用可靠性和正常检测T作。如何提高SnO材料的 及 多孔材料 的制备技术及进展进行 了详细的综述 ：结果认为 ，SnO 气敏性能、选择性及可靠性已经成为研究的重点H1。 纳米粉体与纳米薄膜气敏材料 的制备与使用仍是今后一段 时间内 重点发展对象；纳米一维材料与介孔、大孔材料等结构功能材料作 事实表明，SnO材料的结构特征如相组成、分散性 为气敏材料方兴未艾，有很大的发展潜力和应用前詈；新老制备技 和形态等将严重影响到响应传感器的气敏特性 如 术的不断成熟及涌现将使 SnO 纳米结构材料作为气敏材料而深入 灵敏度、选择性 、寿命 ，制备出高m 比表m面积且山性能． Ⅲ 研究和广泛应用，结合掺杂等手段 ，将进一步推动 SnO 气敏元件的 稳定的SnO：材料将是一条改善气敏材料敏感性的 高效微型、集成化、多功能、智能化发展 一 重要方法。因此，国内外始终没有放弃对 SnO材料 关键词：SnO ；气敏材料 ：纳米薄膜：纳米线：介孔材料 中图分类号：TN30492，TB383 文献标识码：A 的深入研究。 文章编号：J008—5548 2005 04—0038—05 随着纳米技术和研究手段的进步 、发展 ，SnO! 气敏材料的开发 已从传统粉体材料转移到纳米粉 EvolvementsofSnO2Gas—sensitive 体、纳米薄膜等纳米结构材料方面 来，见图 1。纳 MaterialsandPreparationTechnology 米薄膜 、纳米线、纳米带、介孔材料等纳米结构材料 的出现及应用，使 SnO气敏材料进入到纳米结构材 料时代；促进了气体传感器器件向高效小型 、集成 FANLiang．PENGTong—jiang MaterialSc、ienceandEngineeringDepartment，SouthweslUniversityof 化 、多功能化方向的发展。本文中从 SnO材料发展 ~ieneeandTechnolog2, ． ， Mianyang，621010，China 历程入手，阐述 SnO：气敏基材的制备技术 丽 瓦 J!兰 l 粉体材料 纳米结构材料 图 1SnO气敏基材的发展历程 1 SnO 粉体材料 传统方法制备 SnO基烧结型、厚膜型气敏元件 半导体气敏传感器的核心是气敏材料 。由于 时，均要对 SnO 粉体先行制备，然后通过制模或丝 SnO 材料具有一系列优 良的气敏性质和物化性能， 网印刷等技术进行成型。随着纳米技术的发展，纳 如适用于微量低浓度气体的检测 、具有可调式导电 米粉体 已经取代原来微米级 SnO粉体。纳米粉体有 特性 、高热稳定性和化学稳定性等，使其成为研究 巨大的比表面积、更多活性 中心和气体吸附位置。 最多的一种金属氧化物敏感材料 】～『 但在实际气体 其表面能级密度 的降低会引起纳米颗粒在氧化还 检测工作中，简单的SnO 气敏材料具有选择性较 原气氛中电阻的显著变化 。另外根据晶粒尺寸效 收稿 日期 ：2004一J2-18 应，只要颗粒粒径 符合 伙2 时，材料就可 以 基金项 目：中国高技术研究发展计划 8“63”计划 项 目，编号 2004AA302032： 获得极高的灵敏度I6】。纳米粉体的这些优异性质提 第一作者简介 ：樊 亮 1981一 ．男，硕士研究生 高了SnO气敏元件的气敏性能、响应速度和可靠 38瞄莲瞄圆 2005年第4期 维普资讯 性，并在一定程度上降低了功耗，结合其他手段可以 颗粒，TEM显示颗粒粒径为 20nm，并体现出优异的 实现常温下敏感和工作的目的。 气敏性能 。 目前制备 SnO：纳米粉体技术和方法很多，可以 喷雾热解法也是研究工作中常用的方法，该法 分为固相法 、液相法和气相法。 首先将前驱体溶液通过喷雾装置雾化并导人反应器 1．1 固相法 中，溶液迅速挥发，反应物发生热分解，或者同时发 固相法包括金属盐类分解法、高能球磨法等。前 生燃烧和其他化学反应，生成具有新化学组成的无 者是将有机锡盐高温分解形成SnO粉体，但所制得 机纳米粒子。如T．Sahm以乙醇中的有机物质作前 微粉形状和尺寸不够稳定，有待进一步研究 。实际 驱体，利用火焰喷雾热解法 FSP 进行 SnOz纳米粒 工作 中高