高介电常数材料CaCu3Ti4O12的溶胶凝胶制备技术研究.pdfVIP

第37卷 增刊2 稀有金属材料与工程 V01．37，Suppl．2 2008年 5月 R^REMETALMA丁ERIALSANDENG皿叮EERDIG 2008 May 制备技术研究 金淑华比，夏海平1，张约品1 (1．宁波大学光电子功能材料研究所，浙江宁波315211) (2．宁波工程学院，浙江宁波315016) 超细粉体压块，并在1000℃高温烧结成微晶陶瓷材料。用X射线粉末衍射(X．raypowder electron 结体的晶相，用扫描电镜(Scanning 因此，S01．gel工艺技术是一种制备CaCu3Ti4012超细粉体与高介电常数微晶陶瓷的有效方法。 关键词：CaCu3Ti4012．溶胶．凝胶；介电常数 中图法分类号：TB34 文献标识码：A 文章编号：1002．185x(2008)s2．365．04 1 引 言 断定，超细粉体的工艺制备与陶瓷的烧结过程对其最 2000年，美国Subramanian等人[啦】首先发现了钛后的电学性能起到关键的影响作用。寻找与摸索新型 酸铜钙(CaCu3Ti4012，CCTO)独一无二的介电常数r的制备工艺技术对于获得电学性能良好的CCTO变得 特征及其可能在微电子领域中的巨大应用前景。自此， 相当重要。 各国学者开展了大量的该类物质的工艺制备技术与电 通常，超细粉体的均匀性和颗粒度分布对于其陶 学性能的研究工作【3--61。CCTO具备优异的电学性能， 瓷烧结体的显微结构和电学性能至关重要。机械研磨 具有很高的介电常数，与复合含Pb钙钛矿系陶瓷【7】 法所制备的超细粉体存在颗粒度大(微米级)、分布不 相近，达约104，且在很大温度范围(100-600K)保 均匀等缺点。而溶胶一凝胶技术(S01．gel)是制备均匀纳 持不变。在已有的固体介电材料中尚未发现这种优良 米级超细粉体的有效方法，是一种较为成熟的工艺技 品质【1，21。同时其介电损耗极低，Homes等【891测得术[10,Ii】。它具有纯度高、各组分分子级化学均匀、颗 CCTO单晶室温介电损耗只有约8×10‘4。另外，CCTO 粒大小可控、设备简单等特点。 物质不是铁电体，不存在铁电体材料中经常出现的铁 电畴疲劳、介电损耗大等缺点。并且，它是一种无铅 材料，这种材料对环境几乎不会造成污染。 用较复杂的化学试剂，实验过程也较为繁琐，而其最 由于在CCTO熔体中，CuO组分相对容易挥发，终烧结后的陶瓷的电学性能却不甚理想，其介电常数 CuO对贵金属铂金(Pt)产生较严重的侵蚀作用等原 仅为103。本工作以可溶性的无机盐为先驱体，柠檬 因，生长CCTO单晶变得极其困难。制备大块的高质酸为络合剂，在合适温度经燃烧后，获得超细粉体。 量的CCTO单晶变得几乎不可能，其昂贵的晶体生长超细粉体经压块、烧结后，室温下获得介电常数达104， 成本严重地阻碍了其在实际中的应用。CCTO的陶瓷介电损耗低于0．20的陶瓷体。 态物质是其获得实用的可行之处。首先通过机械研磨 2实验 法制备各组分的超细粉体，然后通过高温固相烧结制 备成致密的微晶陶瓷【1，21。但是各种文献报道的CCTO 按照CCTO物质的化学组成摩尔比，正确称量硝 ’ 收稿日期：2007．11-22 基金项目：浙江省科