电离真空计测量结果的不确定度评定.pdfVIP

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一般工业技术

《计量与测试技术》2o1O年第37卷第3期 电离真空计测量结果的不确定度评定 TheUncertaintyEvaluationforMeasurementResultofIonizationVacuumGauge 刘兴胜 (中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900) 摘 要:依据JJG45—1999(比对法校准真空计校准规程》,使用真空计量装置对 ZDK—I型真空计进行示值误差测量,并对测量结果不确定度进行了 分析评定,给出测量结果不确定度的报告。 关键词:电离真空计 ;不确定度 ;评定 1 概述 被=7.62×10一Pa 1.1 测量依据:JJG45—1999((比对法校准真空计校准规 用贝塞尔公式得单次值实验标准差S为: 程》。 1.2 环境条件:相对湿度不大于80%,温度(23±3)℃。 =1.23×10 3pa 1.3 测量标准:二等 电离标准 10~~10 Pa,U= 相对实验标准差为: 8.18%(其中k=2)。 1.4 被测对象:在 l0 ~1Pa测量范 围内的ZDK—I型 ~rel-- x100%_1.54% / , 真空计 。 实际校准时取4次读数的平均值作测量结果,则不 1.5 测量方法:将被测真空计接到校准装置上,根据要 确定度为: 求校准的压力范围,使标准真空计的值分别稳定在 5× “(P被)= :0.77% l0一Pa,8×10一Pa,2×10—3Pa5×10~3Pa 8×10—3Pa , , , 2×10_。Pa,5×10_。Pa,8×10一Pa时,测出被测真空计 自由度 =10—1:9 的值,进行直接的比对,记录数据,并选取其中一点进行 4.2 标准器的标准不确定度 “(P标) 不确定度评定。 对于二等电离标准(10-4~10I1)Pa,(其中k=2) 2 数学模型 U=8.18%,则 (P标):4.09%; :尸被 ~P标 估计其相对不确定度为 10%,故: 式中:~绝对误差;P被一被测真空计在被测点上 自由度 = ×(10%) =50 的示值;P标一标准真空计的示值。 5 合成标准不确定度的评定 3 测量不确定度来源 5.1 灵敏系数 测量重复性产生的测量误差,用A类方法评定。 式中:C(P被)=l C(P标)=一1 标准器示值误差产生的标准不确定度,用B类方法 5.2 不确定度汇总如表 l所示 评定。 表 1 由于环境温度、湿度等引起的误差,由于在室温下检 定,故在计算中可忽略不计。 4 计算标准不确定度分量 4.1 测量重复性的不确定

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