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一般工业技术
《计量与测试技术》2o1O年第37卷第3期
电离真空计测量结果的不确定度评定
TheUncertaintyEvaluationforMeasurementResultofIonizationVacuumGauge
刘兴胜
(中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621900)
摘 要：依据JJG45—1999(比对法校准真空计校准规程》，使用真空计量装置对 ZDK—I型真空计进行示值误差测量，并对测量结果不确定度进行了
分析评定，给出测量结果不确定度的报告。
关键词：电离真空计 ；不确定度 ；评定
1 概述 被=7．62×10一Pa
1．1 测量依据：JJG45—1999((比对法校准真空计校准规 用贝塞尔公式得单次值实验标准差S为：
程》。
1．2 环境条件：相对湿度不大于80％，温度(23±3)℃。 =1．23×10 3pa
1．3 测量标准：二等 电离标准 10～～10 Pa，U=
相对实验标准差为：
8．18％(其中k=2)。
1．4 被测对象：在 l0 ～1Pa测量范 围内的ZDK—I型 ~rel-- x100％_1．54％
／ ，
真空计 。 实际校准时取4次读数的平均值作测量结果，则不
1．5 测量方法：将被测真空计接到校准装置上，根据要 确定度为：
求校准的压力范围，使标准真空计的值分别稳定在 5×
“(P被)= ：0．77％
l0一Pa，8×10一Pa，2×10—3Pa5×10～3Pa 8×10—3Pa
， ， ，
2×10_。Pa，5×10_。Pa，8×10一Pa时，测出被测真空计 自由度 =10—1：9
的值，进行直接的比对，记录数据，并选取其中一点进行 4．2 标准器的标准不确定度 “(P标)
不确定度评定。 对于二等电离标准(10-4～10I1)Pa，(其中k=2)
2 数学模型 U=8．18％，则 (P标)：4．09％；
：尸被 ～P标 估计其相对不确定度为 10％，故：
式中：～绝对误差；P被一被测真空计在被测点上
自由度 = ×(10％) =50
的示值；P标一标准真空计的示值。
5 合成标准不确定度的评定
3 测量不确定度来源
5．1 灵敏系数
测量重复性产生的测量误差，用A类方法评定。
式中：C(P被)=l C(P标)=一1
标准器示值误差产生的标准不确定度，用B类方法
5．2 不确定度汇总如表 l所示
评定。
表 1
由于环境温度、湿度等引起的误差，由于在室温下检
定，故在计算中可忽略不计。
4 计算标准不确定度分量
4．1 测量重复性的不确定
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