电镜实验课教学讲义.pdfVIP

一. 扫描电镜的构造及原理 扫描电镜是利用细聚焦高能电子束在试样上扫描激发出各种物理信息，通过对这些 信息的接收、放大和显示，实现对试样进行微区分析。结构上可分为五部分，即：电子 光学系统、扫描系统、信号接收与显示系统、样品移动与更换系统和真空系统。下面可 通过日立S－530为例了解扫描电镜结构及原理。 1.1电子光学系统 电子光学系统如图1-1所示。这部分是由电子枪及电磁透镜等组成。 图 1-1 扫描电镜电子光学系统 电子枪是采用三级热阴极电子枪。普通灯丝做成V型，栅极为负偏压，阳极接地。电 子枪的必要特性是亮度要高、电子能量散布要小，目前常用的种类计有三种，钨(W)灯丝、 六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射 (Field Emission)，热游离方式电子枪有钨(W)灯丝及六硼 化镧(LaB6)灯丝两种，它是利用高温使电子具有足够的能量去克服电子枪材料的功函数 (work function)能障而逃离。当在真空中的金属表面受到108V/cm大小的电子加速电场 时，会有可观数量的电子发射出来，此过程叫做场发射，其原