薄膜热扩散率及耦合层厚度的光声检测.pdfVIP

维普资讯 薄1『，懋寸菽：寻，乖 ，尹乡叫 从一维四屠媒质模型出发，在只考虑试样吸收光的假设下，得出传声器检测时空气中的光声信 号的相位响应。由此对厚度为20m的铝膜和 4 m的镍膜的热扩散率进行了刮定，并对薄膜与背衬 之间的油耦台层作了估算。实验结果表明光声技术不仅可用来检测分层媒质表面层材料的热物性 ， 而且还有可能估测内层媒质的厚度或热扩散率。 激光经空气入射到试样一耦合层一热厚背衬 1 引言 组成的分层媒质时，试样 内任意一点x上，因 吸收光能而形成 的热功率密度为t 光声检测是测定材料热物性，尤其是薄 G(x，t)=§B10e (1) 膜材料热扩散率的非常有效的新技术 。 式中；B为试样对波长 的光的吸收系数， 。 为了消除薄膜 自身的热弹振动对 检 测 的干 为调制频率。于是，各层媒质的热扩散 程 扰，通常用油或水把薄膜耦台到一热厚背衬 为： 上，来阻尼受迫振动。然而，实验结果表明， 随薄膜厚度的减小，耦合层的影响逐渐增大， Jlax：a (i：0，2，3) at … … ～ I 而使薄膜热扩散率的测量值发生 系 统 的偏 (2) 差 因此 ，必须从理论上把耦台层 的影 响 11— =一毒等百一一击Gc、x’，t， 考虑在 内，以保证对薄膜热物性光声检测的 可靠性。为此，本文将从一维的四层媒质模 相应 的边界条 件为 ； 型理论出发，导出包括有热薄耦合层时的传 T0(0，t)=TI(0，t，，T1(1l，t)=T2·(1I， 声器光声检测系统 中的光声信号及其相位响 t)，T2(1I+1z，t)=T3(11+12，t)， 应，并以此对薄膜材料进行热扩散率的测定， k。 -k| ，’ 同时对耦台层的厚度进行了估测。 = ， O ’ dx 2 原理 k I+ ! k rr! !!! a X 征 X (3) 式中，T 为i层媒质 内的交变温度，a 和K- 分别为热扩散率和热导率。 由式(2)和(3)可得到各层 媒 质 内 的 图 1 四层媒质的理论模型 T-(x，t)。在区域 0空气中的交变温度 为 当一交变光强为I=±I。e ，波长为 的