超声键合换能器的研究——回顾与展望.pdfVIP

维普资讯 第 25卷第 3期 声 学 技 术 Vo1．25，No．3 2006年 O6月 Technical Acoustics Jun．，2006 超声键合换能器的研究 回顾与展望 周铁英 (清华大学物理系，北京 100084) 摘要 ：回顾了超声键合用换能器 的发展状况 。特别是在我国的研究状况。对超声键合用换能器的研究方法进行 了总 结，例如等效网络法 、直接解振动与波动方程法、有限元法 。不少单位 已经编制 了等效网络法 的计算程序 ，可 以迅速 准确地得到细长和简单换能器结构的频率特性和导纳曲线；利用有限元软件可以计算复杂结构的换能器特性，是当 今设计仿真的有效工具。论文结合当前微 电子、集成芯片对超声键合的大量需求 。展望了超声键合换能器的发展前 景。除高频换能器和小体积的换能器需要进一步研究外 。性能更加稳定和优 良的换能器依然是研究 的热点 。 关键词 ：超声键合 ；换能器 ；品质 因数 ；研究方法 中图分类号 ：TB559 文献标识码 ：A 文章编号 ：1O0o．3630(2006)．03．0258．04 Developm entand prospectofultrasonicbonding transducer ZHOU Tie—ying (Department Physics，TsinghuaUnivers ，Beoing 100084，c ina) Abstract： Thispaperreviewsthe developmentofultrasonic bonding transducer， specially the developmentin China． Methodsusedin thestudy ofultrasonicbonding transduceraresummarized， such asequivalentnetwork， directsolutionofthevibration andwaveequations， andfiniteelement method(FEM)．Programsforthenetworkmethodhavebeendevelopedbymanyresearchers，whichcan beusedtocalculate~equencyandadmittancecharacteristicsoflongandthintransducersrapidlyand accurately． FEM isan effectivetoolofrdesign and calculation oftransducers with complicated structure．A designexampleisgivenofra120kHztransducerusingtheabovetwomethods．Th erange ofQmfactorofbondingtransducersisshown， whichisimportantofrbondingquality． Witha comprehensiveview onthetremendousneedofrultrasonicbondingofmicro-electricintergatedchips， theprospectofultrasonicbondingtransducerisshown． Stabilityandreliabilityofbondingtransducers willbear