超声喷雾热解法生长氧化锌同质p-n结及其电致发光性能研究.pdfVIP

维普资讯 第22卷 第 1期 无机 材 料学 报 V_01．22．No．1 2007年 1月 JournalofInorganicMaterials Jna ．，2007 文章编号：1000-324X(2007)01—0173—03 超声喷雾热解法生长氧化锌同质 p-n结及其电致发光性能研究 边继明，刘维峰，胡礼 中，梁红伟 (大连理工大学三束材料改性 国家重点实验室及物理与光电工程学院，大连 116024) 摘 要：采用超声喷雾热解法在单晶GaAs(100)衬底上生长 ZnO同质 p-n结．以醋酸锌水溶液为前驱体，分别 以醋酸铵和硝酸铟为氮 (N)源和铟 (In)源，通过氮 一铟 (N-In)共掺杂沉积 P型ZnO薄膜，以未故意掺杂的ZnO 薄膜做为n型层获得 znO基同质p-n结．采用热蒸发工艺在