超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响.pdfVIP

维普资讯 第22卷 第 2期 无 机 材 料 学 报 Vo1．22，No．2 2007年 3月 JournalofInorganicMaterials Mar．，2007 文章编号：1000-324X(2007)02—0377—04 超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响 刘 敏，索红莉，赵 跃，张迎 肖，刘丹敏，周美玲 (北京工业大学 国家教育部功能材料重点实验室，北京 100022) 摘 要：用 自行研制的超声雾化装置在 {11O)011织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜，结果 发现一步沉积所得 YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒，而且薄膜的织构和临界 电流密度都较低，这是在 900。C 高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到 YBCO膜层中所致．于是本文提出分高低温两步沉积的实验方案，即