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高压铝阳极箔制备技术研究进展 ／申 蓉等 ·69 · 高压铝阳极箔制备技术研究进展 申 蓉，卢 云，杨邦朝，冯哲圣 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 ，成都 610054) 摘要 从高压铝阳极箔的立方织构、腐蚀技术、化成工艺等方面概述 了目前高压铝电解电容器用电极箔研 究 领域的最新进展，其中包括加入稀土净化铝锭基体、发坑和扩孔的腐蚀技术、复合高介电常数氧化膜。最后预测了超 高压、电真空沉积氧化膜的发展方向。 关键词 电解电容器 化成 添加剂 腐蚀 高介电常数 ResearchDevelopmentofPreparationTechnologyofHighVoltage AnodeAlum inum Foil SHEN Rong，LU Yun，YANG Bangchao，FENG Zhesheng (StateKeylaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices，UniversityofElectronicScienceand TechnologyofChina，Chengdu610054) Abstract Therecentresearchesoncubetexture，corrosionprocessandformingprocessofanodefoilsofhigh voltagealuminum electrolyticcapacitorarereviewed．TheintroductionofReforpurificationofaluminum ingot，corro— siontechnologyofpitandreaming，andcompositeoxidefilm withhighdielectricconstantaresummarizedmainly．Fi— nallythedevelopmentdirectionofextra-highvoltageandelectronicvacuum depositionofoxidefilm issuggested． Keywords electrolyticcapacitor，forming，additives，corrosion，highdielectricconstant 影响立方织构含量的主要工艺因素有微量元素的控制、轧制工 0 前言 艺和热处理工艺等。 铝电解电容器作为整流滤波、信号的旁支与耦合、能量的 1．1 微量元素的控制 储存与转换等的关键元件，随着全球 电子产 品的不断更新换 高压铝箔中主要微量元素有Fe、Si、Cu、Mn、Mg、Ni、Ti等， 代 ，其需求量以平均 10 以上的速度稳步上升。随着电子、电 这些固溶的微量元素容易在铝的位错附近偏聚 ，对铝箔后续的 力、通信、家用电器、节能工业设备、通信终端设备等产业 的发 轧制及退火工艺中晶格的形成、晶粒大小、立方织构的形成、漏 展 ，高压电解电容器 (比电容大于200V)的需求将急速增大[1]。 电流和腐蚀工艺产生重要的影响，最终影响到电容器的性能，因 高压电解电容器技术含量高、生产难度大，与国外相比，我国高 此必须严格控制其含量[2]。 压铝电解电容器的性能存在较大差距 ，主要表现在耐纹波电流 微量元素对铝箔性能影响的研究已较为成熟。研究表明， 的能力和使用寿命上，大多数高压电容器的原材料及成品需从 Fe在高纯铝箔中一般以固溶形式存在，Fe含量增多会降低立 国外进 口，因此开展高压铝电解电容器的生产研究是十分必要 方织构含量；Fe的不均匀分布会导致铝箔