磁控溅射制备ZnO薄膜及其掺杂的研究.pdfVIP

纳米材料与结构 !#$%’()* + ,(-.-(’ 磁控溅射制备!# 薄膜及其掺杂的研究 张 波，梁二军，徐晓峰，谢涵坤，王 良 （东华大学理学院，上海 !#$） 摘要：利用磁控溅射制备了纯 薄膜，并在 气氛中溅射 靶实现了 薄膜的 %’ () +’ +,- % %’ * ! 掺杂；利用双靶共溅的方法分别制备了 掺杂和 掺杂样品。原子力显微镜 （ ）观 ( ,. (/,. ,01 察显示各%’ 薄膜样品具有较好的晶粒分布，退火处理能够显著提高薄膜