流程工业用小流量超声流量计.pdfVIP

维普资讯 仪器仪表与应用 石 油 化 工 自 动 化 ，2003，5：62 AUTOMATION IN PETR0 CHEM ICAL INDUSTRY 流程工业用小流量超声流量计 蔡 武 昌 (上海 光华 仪表 厂 ，上海 200011) 摘 要 ：简述流程工业用超声流量计不能用于小管径和低流速测量的原因，列举了小流量超声流量计的流量传感器结构上 改进和代表性气体和液体 的性能 。 关键词 ：流量测量；小流量 ；超声流量计 中图分类号 ：TP814．92 文献标识码 ：B 文章编号 ：1007—7324(2003)05—0062—03 LOW Flow RateUltrasonicFlowmeterforProcessIndustry CA IW u-chang ’ (ShanghaiGuanghuaInstrumentFactory，Shanghai，200011，China) Abstract：Thecauses，bywhich theultrasonicflowmeterforprocessindustryisimpossibletO beused in small-borepipeandinlow fluidvelocity，areexplained．Theinnovationsinflow sensorconfigurationand thetypicalspecificationsofthelow flow rateliquid／gasultrasonicflowmeterareillustrated． Keywords：flow ratemeasurement；lOW flow rate；ultrasonicflowmeter 管道小流量测量体现在管径小和流速低两个 例 ，流速要大于 0．1～0．17m／s，若要 向低流速延 层面 。虽然 小流量流量仪表有差压式 (层流流量 伸还要克服转换系数变化过大 的缺点 。 计)、浮子式 、容积式 、电磁式 、涡轮式和热质量式等 为改善半导体业 、制药业 、精细化工 、生物工程 品种 ，一般可测管径小到 3～4mm，液体满度流量 等 、流程中超纯水 、药液等液体流量测量 ，氢 、氩 、氨 为 0．01～0．05I／min，流速低 到0．05～0．5m／s； 等气体流量测量 ，以及分析仪器和大气污染监测气 对 于气体小流量 电磁 式和涡轮 式还 不能或不适 宜 体采样等 ，国外开发了若干低价位液体和气体小流 应用 。热质量式可测 管径更小和流量更低 的微小 量超声流量计 以相适应 。本文就这类仪表做 简要 流量 ，液体 满度流量为0．002~0．02L／min_|2]，气 介绍 。 体为 0．005～ 10L／min。在流程工业这些小流量 1 工作原理 仪表 品种 中以热式气体流量计应用最为普遍 ，近年 超声流量计用得较 多的是传播 时间法 ，声波如 热式液体流量计应用才趋扩展 ，其他品种则应用较 图 1所示在流体 中交替方 向传播 ，顺流时声波从换 少 。 能器 2发射 ，传播速度会增大 ，逆流 时从换 能器 1 虽然已有 了上述若干种小流量仪表 ，但有些应 发射 ，速度会减小 ，同一传播距离就有不 同传播时 用场所 (如半导体工业)被测流体不容许与金属或 间，利