固着磨料双面研磨压力的优化控制研究_卢杰.pdfVIP

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2015-09-02 发布于重庆
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固着磨料双面研磨压力的优化控制研究_卢杰.pdf

29 2 Vol29 No2 2 0 0 6 6 Journal of Changchun University of Science and T echnology Jun. 2 0 0 6 1 2 3 卢杰 , 陈江, 张心明 ( 1, 400712; 2, 150028; 3, 130022) : 针对固着磨料研磨的特点, 通过所建立的数学模型, 对固着磨料双面研磨过程中压的变化进行研究, 并对研磨过程的压实施进行优化, 从而找到在研磨过程中最佳的施压方法, 以达到对硅晶片玻璃硬盘基片等进行高速精密和超精密加工的目的 : 双面研磨; 振动; 压控制; 固着磨料 : TH16 : A : 1672- 870 ( 2006) 02- 0034- 03 SolidAbrasiveMaterialDouble- SidesLapping PressureOptimizingControl 1 2 LU Jie, CHEN Jiang, ZHANG X inm ing ( 1Chongq ing Uoca tional Technical College, Chongqing 400712; 2H arbin University of comm erce, H arbin 150028; 3Changchun University of Science and Technology , Chang chun 130022) Abstract: the unlifting pressure process in solid abrasive double - sides lapping has been studied through the mathmatics model established in this paper. Then the optmi almethods for the lapping press- ing was found , the objective of ultra precision machining and precision m ach in ing of silicon w afer and glass hardd isk substrate can be achieved. ey words: double- sides lapp ing; vibration; pressure control; solid abrasive , , , , , , , , [ 1] , , , , , 1 , , , ,