RSD型电阻加热隧道式烧结炉的研制.pdf

维普资讯 第2卷 第 2期 混 畚 集 成 技 术 Yo1． No．2 RSD型 电阻加热隧道式烧结炉的研制 机电都43所 郭景霹 幸蕾● 越蠹冬 短，控温精度较低，致使产品的烧成质量 一 、 奠道式烧结炉发展 篙况 不稳定。所 以到7O年代束期北京774厂 的 为满足星鹾基盛皇望及特殊的阻容元 设备动力分厂在2米炉的基础上研究 出 了 件等产品研制生产的需要，国内许多无线 可供商品他的5米隧道式厚膜烧结 炉。 以 电专用设备厂和厚膜 电路的研制生产厂家 后，795厂、715厂等单位也都 自行研制出 竞相引进或 自行开发研制了各种不同型号 了类似的产品 的瞎道 蟛结j 历史上，由于我所专业 二、研饲RSD蛩系列麓道式 方 向的决定，隧道式烧结炉的使用、改造 f 烧结炉的霄景 和研制一直受到重视 。早在1965年，当时 11所在厚膜集成电路的研究工作刚刚开始 进入8O年代，我所的厚膜集成电路、 起步的时候，自行研制隧道式烧结护的工 浆料和特种元件的研 与生产都取得了很 作就同步进行_『。囿于当时历史条件的限 大的发展，同时也迫切需要有更多更好的 制，可供参考的技术资料很少。当时唯一 炉子供工艺研究和产品的生产之用。这期 可 以借鉴的是民主德 国给11所配套来的低 间，我所 引进 r一些 国外 的隧道 式 烧 结 温烘干炉，该炉是隧道式结构，长度 约2 炉，如美国BTU公 司 带气氛控伟韵红外 米。所 以，我所 最早研制的也是2米 隧道 快速烧成炉 这些炉子虽然各具特点和优 式烧结炉。经过设备制造技术人员和厚膜 越性，但从我所科研生产发展的总体情况 工艺人员的通力台作 ，第一 台隧道式烧结 来看仍远不能满足研究室的使用要求。这 炉终于制成了。它的加热区长度为2米，分 固然是引进炉子首先要稿外汇，价格还是 成三个温区，烧成温度可达860。C。其 中 相当高的J另外一点必须考虑的是国外炉 所进行的一些开创性的工作有不少一直沿 子必须要有一套配套的东西才能真正发挥 用至今，如采用 r温度 自动控制线路和仪 出它的先进性。就以红外快速烧成而言， 表，使用可控硅元件来调整和控制加到 电 严格地讲必须配置动态气氛系统并使用专 炉丝上的交流 电，设计 了链式传动机构， 门的电子浆料才能保证烧成产品的质量， 制成 了能耐高温的传送炉带等。该炉在我 这样做无疑又将增加更多的投资。根据我 所厚膜集成 电路初期的研究中发 挥 了作 国的国情和所里的实际情况，86年 以来所 用，1967年在705任务的研制过程中 有 些 里先后给我们热工组和屯炉组下达了研制 电路就是用它来烧成的。 4米和5米隧道炉的课题，一方面满足本所 不可否认2米隧道炉还有很多不 完 善 的需要 ，另一方面也可提供给 需要这一类 的地方，最主要的是加热区短，恒温区更 设备的用户使用。 ·6 · 维普资讯 三、主要技术参数和特点 证其温度，加热区和恒