BaTiO3CoFe2O4BaTiO3复合磁电薄膜生长及应力研究.pdfVIP

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真空科学与技术学报 第27卷第5娥 CHhNLX;E OFVACUUMscIENCEAND’眦CHNOII,(并 2晰年9、i0月 JOURNAL 周立勋朱俊‘ 黄文张鹰李言荣罗文博 (电子科技大学电子薄膜与集成器件崮家重点实验室成都610054) GrowthandInterfaciaiof Strain BaTi03/CoFe204/BaTi03 MagnetoelectricMultilayers ZhouIJxun,Zhu Werlb0 Ymlmng,Luo Jun+,HuangWen,ZhangYing,Li Science 卜枷椰s毋。厂ElectronicsandT钟hndogy矿China,s咄据研h6删。¨1 / 、ofElectrohie‰F//ms删IntegratedDeles,懒也610054.‰ Absa-aetGrowthof substratehsermolecularbeam Ba3103/CaFe204/BaTi03magnewetectricmd脚椰onSrTi03 b with ofthe wPJre with w龉monitoredin-situreflecfion mlcrostructures characterized di缶a‰(RnEED).1he l】i小e鹏1酊electron nadfilayez diffraction(XRD)and resultsshowthat∞thethickness WghmzolullonX-my atomicfcace面删(AFM).The theinteffacialstre*a strainOil exerted contrast,theBaTi03 bycov,b04 graduallyrelaxes,r∞uifiagineha。啪offilmgmwthmode;in slowlyin— shrinkof af血e 8ls0calculated. a c—axis unitcellThevariationsinthec-axiswith QfCaFee04were Cltlas‰.1eadingt0 BaTi03 depoitiontime AFM the change i唧confirm in岫乎砌nlode. film,I

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