掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能研究.pdfVIP

第 卷 第 期 应 用 科 学 学 报 # $ 5678#9+68$ 年 月 $%% ’()*+,-(.,//-012 3401+413 ’:;$%% !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号=%$@@ C$#DA$%%B%$ %D %@ 掺氮类金刚石薄膜的微观结构和 红外光学性能研究 9$ 9$ 居建华 夏义本 张伟丽 王林军 史为民 9 9 9 9 9 $ $ $ $ 黄志明 李志锋 郑国珍 汤定元 9 9 9 上海大学 电子信息材料系 上海 A8 9 $%C%%? 中国科学院 红外物理国家重点实验室 上海 $8 9 $%%%CB 摘 要 采用俄歇电子能谱 原子力显微镜 拉曼散射分析 傅里叶红外光谱和红外椭圆偏振光谱等设备 对射频等离子 = E E E 9 增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能进行了研究 结果表明 薄膜中氮含量随工艺 8 9 中氮气 甲烷流量比的增加而增加并趋于饱和 光谱中 键吸收峰 K 逐渐消失 而且 键 F 8 4G A$C@#H %% B 9 4+G IJ K 键 K 和 键 K 对应的红外吸收峰强度随氮含量的增加而增加 拉曼散射中 A%% BE L A$$%% B A$@% B 8 IJ 4 + IJ +G IJ 峰向小波数方向位移和峰值展宽的现象说明薄膜中形成了非晶的氮化碳结构 与原子力显微镜显示的薄膜中富氮 M 9 的非晶纳米颗粒相对应 偏振光谱分析认为 富氮纳米颗粒的存在导致了薄膜在红外波段折射率由 降低到 8 9 NC N8 关键词 掺氮类金刚石薄膜 微观结构 红外光学性能 = ? ? 中图分类号= OCO8O? %O8C 文献标识码=