气体运动论数值算法在微槽道流中的应用研究.pdfVIP

第 卷第 期 计 算 力 学 学 报 .21~ .3 21 3 Vol No 年 月 Chinese Journal of Computational Mechanics June 2004 2004 6 文章编号:100 -4 08(2004)03-0263-09 气体运动论数值算法在微槽道流中的应用研究 李志辉1~2 ~ 符 松 1 ~ 张涵信2 (1.清华大学 工程力学系 北京~ 100084;2.中国空气动力研究与发展中心 四川 绵阳~ 621000) 摘 要 简要介绍基于: Boltzmann 模型方程的气体运动论数值算法基本思想及其对二维微槽道流动问题数值计 算的推广 并阐述适用于微尺度流动问题的气体运动论边界条件数值处理方法 通过对压力驱动的二维微槽道 ~ 0 流动问题进行数值模拟~将不同Knudsen 数下的微槽道流计算结果分别与有关DSMC 模拟值和经滑移流理论 修正的N S- 方程解进行比较分析 表明基于~ Boltzmann 模型方程的气体运动论数值算法对微槽道气体流动问题 具有很好的模拟能力0 关键词:Boltzmann 模型方程 离散速度坐标法; ;NND 差分格式 微槽道气体流动; 中图分类号: 241; 354 文献标识码: 0 0 A 领域的试验理论与手段尚不完备 寻求有效的数值~ 1 引 言 模拟方法 研究解决微流动问题成了无论工程应用~ 伴随半导体工业的快速发展 微电子机械系统~ 部门还是学术研究领域都较为关心的课题0有学者 (MEMS) 已被广泛用于生物学 医学 光学 宇航~ ~ ~ 将蒙特卡罗直接模拟(DSMC)方法用来模拟微流 和力学及电子学工程等许多学科~MEMS 的发展 动 获得了较好的成功~ [6~8~9]0 但由于MEMS 中的 使微小机械如微型泵 阀门 感受器 发动机等的制~ ~ ~ 气体流动速度通常比分子热运动速度小得多 利用~ 造和运转成为新技术的通常工艺手段[1~2]0 MEMS DSMC 方法模拟微尺度系统中的低速流动 所遇~ 的迅猛发展已引起人们对微流动特性的高度关 到的最难克服的问题是DSMC 计算结果的巨大的 [3~4] [9] 注 0 对于MEMS 中的气体流动 由于系统的微~ 统计波动 这使得量级很小的有用信息被完全淹~ 小尺度而使得Knudsen(克努森 数相对较大 一般) ~ 没在背景噪声之中 为了从背景噪声中取出有用信~ MEMS 器件尺寸在十分之一微米到数百微米之 息 必然要增大取样尺度 从而大大增加计算量 此~ ~ ; 间 其流动的 数通常位于 到 附 外 对于常密度气体 由于分子间距较稀薄气体小~ ~ ~