椭圆偏振光法测量透明薄膜数据的计算机处理.pdfVIP

维普资讯 第7卷 笫4期 薄 膜 科 学 与 技 术 1994年12月 11{1N F1LM $C1ENCE AND TECHNOLOGY ～ 1 椭 圆偏振光法测量透明薄膜 数据的计算机处理 ． 陈万喜 徐铸德 - ’ 。 _ - h ● ’ — ’ — — — 一 — — 一 O 、 (浙江太学化学系，杭州310027) 1993年 8月 23日收到 摘 要 本文 简要龊迷了椭圆偏振光法制量透明薄膜厚度和折射率的原理．提 出了蛄合随机可变多 面体搜索掌解椭偏参数的数据处理方法，井蛤出了其计算程序．斌计算方法搜索范田太，精度 南。计算时阍短，-ffv~昔遍适同于普通连明薄膜一村底体导．． 关键词：笾奥 。塞_螋 ，垦 j 1 月Ⅱ 爵 为了探讨淀积薄膜的新材料和新工艺。深入了解薄膜淀积条件和其微观结构之问的关 系，除进行薄膜的结构分析外，薄膜光学常数及其厚度的精确测定有着十分重要的意义． 椭圆偏振光法是 目前应用的厚度测量方法中具有摄高测试车奇度的方法之一，其测量幸奇度 比 干涉法高一个数量级以上．椭圆偏振光法既可测定透明薄赕的折射率和厚度，也可测定吸 收簿膜的折射率．厚度和吸收系数，还可澳4定多层膜中各层薄膜的折射率和厚度．它的灵 敏度极高，可分辨山膜厚的极小变化，而且是一种无损测量．既不破坏坡测样品．对样品 也无特别要求，因此在光学，Fb化学，毕导体制造等方面都有极其广泛的应用 “，2． 呲 虽然椭圆偏振光法的原理早已提出，但它需要从测量得到的椭偏参数 A和 求解复 数非线性的超越方程来得到膜厚和膜的光学参数．这个方程只能用试差和迭代方法数值求 解，数据处理相当复杂．只有随着计算机技术 的发展和普及．椭 圆偏振光法才可能得封广 、 、 ● ， r 泛推广和应用．也正因如此，目前多数参考书籍和新编物理化学专业实验中，均只介绍用 图解法处理数据 “ ，即先设定不同的膜厚 d和折射率 n，按椭偏方程计算对应的椭偏 参数 A， ，制成(△， )～(， 的曲线簇圈，然后根据 A 的实验值按 图表查得 n值 和d值．这种方法精度不高，误差大，使用也不方便． 关于直接求解膜厚和膜 的光学参数 的计算机程序，文献报导较