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ESD控制技术要求 ESD S541 万用表 兆欧表 项目 仪器 取样数 相关文件及记录 监测周期 责任部门 控制参数 参考 标准 备注 每季一次 全部 技术课 购入验收时 抽样检查 IQC 表面电阻测试仪或兆欧表 防静电治工具 温湿度 所属部门 工作环境及样品认定环境 来料验收时 表面点对点电阻 N/A 抽样 防静电胶皮 兆欧表 HR工程课 监测内容 监测周期 责任部门 控制参数 参考 标准 备注 温湿度计 每班两次 EPA区域内 及认定场所 温度:18-28℃ 30%RH 湿度75%RH N/A 防雷地线 天面防雷带是否完好 目视 每季一次 每个连接点 是否严重锈蚀,断开 N/A 接地体、主干线阻值 接地摇表 每年一次 每个连接点 HR工程课 电阻1Ω ANSI EOS/ESDS 6.1 车间分支干线与主干线阻值 电阻1Ω 车间分支线与分支干线阻值 电阻1Ω 设备系统电阻 接地摇表 每年一次 每个连接点 HR工程课 电阻4Ω 电烙铁接地电阻 电阻20Ω ESD STM 13.1-2000 大型设备外壳系统电阻 每季一次 ANSI EOS /ESDS 6.1 小型设备外壳系统电阻 全部 所属部门 ANSI EOS /ESDS 6.1 设备接地线与分支线阻值 所属部门 ESD控制技术要求 监测内容 监测周期 责任部门 控制参数 参考 标准 相关文件及记录 1.0×106Ω~1.0×109Ω ESD S 4.1 ESD STM4.2 工作台和流水线 静电压测试仪 ESD STM4.2 兆欧表 ANSI EOS/ESDS 6.1 接地扣 电阻 购入验收时 抽样检查 NA ESD控制技术要求 监测内容 监测周期 责任部门 相关文件及记录 备注 表面点对点电阻 兆欧表 1.0×109Ω ESD S 7.1 防静电地板导体对地极母线的阻值 每个EPA区域抽6个点 1.0×109Ω ANSI EOS/ESDS 6.1 防静电工作鞋 导电阻抗 防静电工作鞋 清洗 手工清洗 每两周一次 全部 所属人 N/A 防静电工作服、帽 表面电阻测试仪或兆欧表 购入验收时 抽样检查 1.0×105Ω~1.0×1011Ω ESD STM2.1 使用中每季度一次 抽样检查 使用部门 N/A 清洗 每两周一次 所属人 ESD控制技术要求 监测内容 监测周期 责任部门 控制参数 参考 标准 相关文件及记录 备注 兆欧表 购入验收时 抽样检查 耗散材料：1.0×106Ω~1.0×109Ω ESD STM12.1 表面点对点电阻 每季度一次 耗散材料：1.0×106Ω~1.0×109Ω 购入验收时 抽样检查 IQC ESD STM12.1 所属部门 1.0×106Ω~1.0×109Ω 离子风机 离子风机平衡电压 初次购入时 抽样检查 ESD S3.1 每季度一次 衰减时间 离子风充电板测试仪 初次购入时 抽样检查 ESD控制技术要求 监测内容 监测周期 取样数 备注 ESD ADV 53.1 N/A 手腕带 手腕带测试仪 所属部门 ＜35×106Ω(测试仪器亮绿灯) ESD S1.1 手腕带阻值 万用表 0.8×106Ω-1.2×106Ω ESD S 1.1 地板与鞋装系统 站立操作人体系统电阻 人体综合测试仪 每班上班前 全部 所属部门 ESD STM97.1 ESD控制技术要求 监测内容 备注 导电性防护材料 表面点对点电阻 购入验收时 抽样检查 1.0×104Ω ESD S11.1 导电性防护材料 表面点对点电阻 表面电阻测试仪或兆欧表 抽样检查 1.0×104Ω ESD S11.1 一次性使用的柔性消电性（耗散性）防护材料 表面点对点电阻 1.0×104Ω＜　 点对点电阻＜　　　　1.0×1011Ω 周转使用的消电性（耗散性）防护材料 来料验收时 抽样检查 ESD S541 抽样检查 所属部门 屏蔽包装袋 认定时验证第三方的测试报告，平时验证供方报告 IQC ESD控制技术要求 1.0×104Ω~1.0×1010Ω ESD S11.1 摩擦电压 静电压测试仪 购入验收时 抽样检查 ESD S11.1 防静电治工具 表面点对点电阻 表面电阻测试仪或兆欧表 每季度一次 ?匀??　　 ESD S11.1 防静电中空板 购入验收时 抽样检查 1.0×109Ω NA 防静电中空板接地系统 表面点对点电阻 表面电阻测试仪或兆欧表 每季度一次 1.0×109Ω 防静电中空板接地系统 接地阻值 表面电阻测试仪或兆欧表 每季度一次 所属部门 1.0×109Ω 防静电手套、手指套 表面点对点电阻 兆欧表或表面电阻测试仪 1.0×104Ω~1.0×1010Ω N/A ESD控制技术要求 项目 监测内容 仪器 监测周期 取样数 责任部门 控制参数 参考 标准 相关文件及记录