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磁力显微技术 用磁力针尖获得的图像都包含着表面形貌和磁特性 与范德瓦尔斯力相比，原子间磁力在较大的间隙时仍保留一定量值。在不同的针尖高度下采集一系列图像是剥离两种效应的一种途径。 如果针尖靠近表面，即处在标准的非接触模式工作区间，则图像主要含形貌信息。 随着间隙增大，磁力效应变得显著。 硬盘磁记录单元的形貌像（左）和MFM图像（右） 4.4 其它SPM技术 力调制显微术（FMM） AFM针尖以接触方式扫描样品，将一周期信号加在针尖或样品上，由此信号驱动产生的悬臂调制振幅随样品弹性而变。 4.4 其它SPM技术 相位检测显微术（FMM） 相位检测显微技术也称之为相位成像，这种技术借助测量悬臂振动驱动和振动输出信号之间的位相延迟，研究弹性、粘度和摩擦等表面机械性能的变化。 4.4 其它SPM技术 静电力显微技术（EFM） 静电力显微技术（EFM）显示出样品表面的局部电荷畴结构。 在针尖与样品之间施加电压，当悬臂扫描至静电荷时，悬臂偏转。 4.4 其它SPM技术 扫描电容显微技术（SCM） 热扫描显微技术（TSM） 近场扫描光学显微术(NSOM) 近场扫描光学显微术(NSOM) 纳米光刻 本章重点 STM的工作原理 AFM的工作原理 * * 在STM基础上发展起来的各种新型显微镜 第四章 扫描探针显微分析技术 第四章 扫描探针显微分析技术 1. SPM的基本原理 2. 扫描隧道显微镜（STM） 3. 原子力显微技术 4. 磁力显微技术 4.1 SPM的基本原理 4.2. 扫描隧道显微镜（STM） 1981年，IBM瑞士苏黎士实验室的葛·宾尼和海·罗雷尔研制出世界上第一台扫描隧道显微镜（Scanning Tunnelling Microscope，简称STM）．STM使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质，在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用前景，被国际科学界公认为20世纪80年代世界十大科技成就之一．为表彰STM的发明者们对科学研究所作出的杰出贡献，1986年宾尼和罗雷尔被授予诺贝尔物理学奖金． STM的工作原理 扫描隧道显微镜的工作原理是基于量子力学中的隧道效应。对于经典物理学来说，当一个粒子的动能E低于前方势垒的高度V0时，它不可能越过此势垒，即透射系数等于零，粒子将完全被弹回。而按照量子力学的计算，在一般情况下，其透射系数不等于零，也就是说，粒子可以穿过比它能量更高的势垒，这个现象称为隧道效应。 隧道效应是由于粒子的波动性而引起的，只有在一定的条件下，隧道效应才会显著。经计算，透射系数T为： T与势垒宽度a，能量差(V0-E)以及粒子的质量m有着很敏感的关系。随着势垒厚(宽)度a的增加，T将指数衰减，因此在一般的宏观实验中，很难观察到粒子隧穿势垒的现象。 扫描隧道显微镜的基本原理是将原子线度的极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离非常接近 (通常小于1nm) 时，在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极。 （隧道探针一般采用直径小于1mm的细金属丝，如钨丝、铂-铱丝等，被观测样品应具有一定的导电性才可以产生隧道电流） 隧道电流I是电子波函数重叠的量度，与针尖和样品之间距离S以及平均功函数Φ有关： （Vb是加在针尖和样品之间的偏置电压，平均功函数 ，Φ1和Φ2分别为针尖和样品的功函数，A为常数，在真空条件下约等于1） 隧道电流是间距的指数函数； 如果针尖与样品间隙（?级尺度）变化10%，隧道电流则变化一个数量级。 STM的针尖~样品相互作用示意图 STM的结构 常用的STM 针尖安放在一个可进行三维运动的压电陶瓷支架上，如图所示，Lx、Ly、Lz分别控制针尖在x、y、z方向上的运动。在Lx、Ly上施加电压，便可使针尖沿表面扫描；测量隧道电流 I ，并以此反馈控制施加在Lz上的电压Vz；再利用计算机的测量软件和数据处理软件将得到的信息在屏幕上显示出来。 STM两种扫描模式 恒定高度模式－检测隧道电流变化 恒定电流模式－检测高度变化 两种模式各有利弊。恒高模式扫描速率较高，因为控制系统不必上下移动扫描器，但这种模式仅适用于相对平滑的表面。恒电流模式可以较高的精度测量不规则表面，但比较耗时。 恒电流模式 x-y方向进行扫描，在z方向加上电子反馈系统，初始隧道电流为一恒定值，当样品表面凸起时，针尖就向后退；反之，样品表面凹进时，反馈系统就使针尖向前移动，以控制隧道电流的恒定。将针尖在样品表面扫描时的运动轨迹在记录纸或荧光屏上显示出来，就得到了样品表面的态密度的分布或原子排列的图象。此模式可用来观察表面形貌起伏较大的样品，而且可以通过加在