MDC-360膜厚控制仪操作及维护手册.pdf

Maxtek MDC-360 Film Deposition Controller Operation and Service Manual MDC-360 膜厚控制仪操作 维护手册 MAXTEK, INC. 11980 Telegraph Road, Suite 104, Santa Fe Springs, Ca 90670-6084 Tel: (562) 906-1515 Fax: (562) 906-1622 Email: sales@ and support@ MDC-360 DEPOSITION CONTROLLER 1995-2000 MAXTYEK, INC. All rights reserved. First Edition, March 1995, 第一版 Second Edition, Revision A, March 1996 第二版 修订本 A Revision B, June 1996 第二版 修订本 B Revision C, December 1996 第二版 修订本 C Revision D, February 1997 第二版 修订本 D Revision E, January 1998 第二版 修订本 E Revision F, March 1998 第二版 修订本 F Revision G, May 1998 第二版 修订本 G Revision H, January 1999 第二版 修订本 H Revision I, November 1999 第二版 修订本 I Revision J, February 2000 第二版 修订本 J Revision K, August 2000 第二版 修订本 K